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測量顯微鏡是一種尺寸測量裝置，可根據使用顯微鏡放大和觀察的圖像來測量尺寸。
它結合了具有精確放大倍率的光學顯微鏡、用于比較測量的模板以及用于在平面上精確移動測量工件的XY 平臺。使用測量顯微鏡可以進行非接觸式測量，從而可以在不損壞工件的情況下觀察輪廓和表面。
測量顯微鏡通常使用遠心光學系統。近年來，一些型號在光學頭中采用了無限遠校正光學系統，可以進行微分干涉觀察和簡單的偏振觀察。
測量顯微鏡的使用
測量顯微鏡用于相對較小的機械零件、電子設備零件和半導體產品的生產和質量控制。該測量裝置適用于測量小零件和不使用顯微鏡難以測量的精細零件。
除了測量尺寸外，它還可以用于使用偏振光和微分干涉進行觀察，例如檢測半導體基板上的劃痕。由于放大倍率的準確性，通過使用模板進行比較測量來確定產品是否在公差范圍內，對于簡單檢查也很有用。
測量顯微鏡既可以用作測量裝置，也可以用作顯微鏡，并且一臺裝置可以用于多種用途。
測量顯微鏡原理
測量顯微鏡可按照明方式分類。
1. 透照法
透射照明是一種透射照明，它允許光線穿過以捕捉物體的輪廓并測量其尺寸。用于測量輪廓。
2.垂直反射照明
垂直反射光將光垂直照射到物體表面，并利用反射光觀察表面。垂直反射照明不僅可以測量尺寸，還可以觀察表面形狀。
3.斜反射照明
斜反射照明是一種將光線傾斜地照射到被測物體表面的照明方法。其特點是強調圖像的對比度，因此可以獲得三維且清晰的圖像。然而，測量尺寸時可能會出現錯誤。
