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產品名稱：OPTORUN光學鍍膜機OTFC-900CBI/DBI
產品型號：OTFC-900CBI/DBI
產品介紹
OTFC系列是用于生產紅外截止濾光片、分色濾光片等成膜的真空鍍膜裝置。
性能特點
l 真空室尺寸：Φ600-1800mm
l 60點/80點式光學膜厚監控
l 使用均勻分布的高離子電流密度的離子源
l 搭載雙電子槍，多點和環型坩堝可鍍100層以上
l 利用自動蒸鍍控制系統實現全自動蒸鍍過程
l 工件架可選擇鐘罩式或行星式
l 排氣系統可選擇擴散泵+低溫冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵
技術參數
產地：日本
真空室：SUS304, φ900mm×1300mm (H)
工件架：φ 790mm
工件架轉速：10 rpm to 30 rpm (可變)
光學膜厚控制：HOM2-R-VIS350A光學膜厚監控儀
波長范圍350nm到1100nm
反射式/透射式可選
水晶式膜厚計XTC/3+6點式水晶傳感器
蒸發源：電子槍2套
離子源：10cm RF 離子源
排氣系統：機械泵+1個擴散泵+Polycold（或1個冷凝泵）
達到壓力：7.0 × 10-5 Pa 以下
基板溫度：350℃
設備尺寸：4500mm (W)×5500mm (D)×3200mm (H) approx.
電源：3相,200v,50/60Hz, 約80KVA
水流量：80升/分以上
空氣壓力：0.5MPa 以上
重量：約5400kg
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