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當前位置：天津瑞利光電科技有限公司>> 美國ABeam Technologies載物臺
| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,汽車及零部件,電氣 |
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產品名稱：ABeam Technologies載物臺XENOS XeMove
產品型號：XENOS XeMove
產品介紹
XENOS XeMove載物臺使用先進的激光測量系統和超聲波壓電驅動技術，結合我們的光刻系統（測量分辨率為10nm），可獲得優于100nm的縫合和覆蓋精度。
XeMove：電子束光刻平臺
緊湊的設計允許用作子階段或更換階段，只需要電氣室饋通。所有組件都是高真空兼容且非鐵磁的。緊湊的設計包括激光測量系統和壓電驅動部件。軸上測量將偏航誤差的影響降至更低。行程范圍從55毫米到120毫米不等。
性能特點
l 集成到現有系統中不需要復雜且昂貴的腔室修改。
l 測量系統不需要激光視口，載物臺電機不需要機械饋通，所有有源部件都放置在真空室內，并通過標準電氣饋通進行電子控制。
l 對于某些腔室設計（例如JEOL JSM-7xxx），載物臺可以通過負載鎖插入，并通過腔室內的特殊電ZIF觸點連接。
l 當平臺停止時，驅動電機斷電，位置被機械鎖定，從而將總功耗降至更低，防止加熱和相關漂移。
技術參數
產地：美國
類型：電子束光刻平臺
測量分辨率：10nm
行程范圍：55mm到120mm
縫合精度：優于100nm
覆蓋精度：優于100nm
激光視口：不需要
機械饋通：不需要
觸點連接：ZIF
兼容：高真空
組件：非鐵磁
部件驅動：壓電
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