當前位置:天津瑞利光電科技有限公司>> 美國ABeam Technologies載物臺
產地類別 | 進口 | 應用領域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,汽車及零部件,電氣 |
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產品名稱:ABeam Technologies載物臺XENOS XeMove
產品型號:XENOS XeMove
產品介紹
XENOS XeMove載物臺使用先進的激光測量系統和超聲波壓電驅動技術,結合我們的光刻系統(測量分辨率為10nm),可獲得優于100nm的縫合和覆蓋精度。
XeMove:電子束光刻平臺
緊湊的設計允許用作子階段或更換階段,只需要電氣室饋通。所有組件都是高真空兼容且非鐵磁的。緊湊的設計包括激光測量系統和壓電驅動部件。軸上測量將偏航誤差的影響降至更低。行程范圍從55毫米到120毫米不等。
性能特點
l 集成到現有系統中不需要復雜且昂貴的腔室修改。
l 測量系統不需要激光視口,載物臺電機不需要機械饋通,所有有源部件都放置在真空室內,并通過標準電氣饋通進行電子控制。
l 對于某些腔室設計(例如JEOL JSM-7xxx),載物臺可以通過負載鎖插入,并通過腔室內的特殊電ZIF觸點連接。
l 當平臺停止時,驅動電機斷電,位置被機械鎖定,從而將總功耗降至更低,防止加熱和相關漂移。
技術參數
產地:美國
類型:電子束光刻平臺
測量分辨率:10nm
行程范圍:55mm到120mm
縫合精度:優于100nm
覆蓋精度:優于100nm
激光視口:不需要
機械饋通:不需要
觸點連接:ZIF
兼容:高真空
組件:非鐵磁
部件驅動:壓電
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