蔡司ZEISS場發(fā)射掃描電鏡Sigma系列產(chǎn)品特點：

久經(jīng)考驗的 Gemini 技術(shù) Sigma 系列產(chǎn)品是基于 Gemini 設(shè)計研發(fā)的，此項技術(shù)已運用超 20 年之久，不斷打磨改進， 具有完整高效的探測系統(tǒng)、出色的圖像分辨 率和易用性等特點。

蔡司ZEISS場發(fā)射掃描電鏡Sigma系列Gemini 物鏡的設(shè)計結(jié) 合了靜電場與電磁場，在大幅提升光學性能 的同時將它們對樣品的影響大大降低。因此，即便是要求苛刻的樣品——如磁性材料，也 能進行高品質(zhì)成像。Gemini 的設(shè)計原理通 過對二次電子（SE）和 / 或背散射電子（BSE） 的探測來確保高效的信號檢測。Inlens 探測 器安裝在電子束光路的正光軸上，減少了 重新校準的操作，大大的縮短了成像時間。 Gemini 電子束推進器技術(shù)可以保證在超低 加速電壓下獲得小束斑和高信噪比的圖像。 此外，它確保了電子束在鏡筒中運動時始終 保持高加速電壓，更至出鏡筒后才減速至設(shè) 定電壓，更大程度地減小外部雜散磁場對系 統(tǒng)靈敏度的影響。Sigma 300 和 Sigma 500 兩者均應(yīng)用了 Gemini 設(shè)計、Inlens 探測器和 電子束推進器技術(shù)。