泵軸位置	臥式	抽氣量	見參數
輸送介質	其他	外形尺寸	見參數
葉輪數目	單級	應用領域	石油,能源,電子/電池,電氣,綜合
最大工作壓強	見參數

EBARA荏原干式真空泵高節能性能型

EV-M型

干式真空泵非常適合節能和高負載工藝

兼容高負載流程

兼容高溫控制

節能減排

耐腐食性材料標準采用

耐腐蝕性改進選項

不同頻率 (50/60Hz) 下具有相同的性能

不含油

提供 CE 標志/SEMI-S2/NRTL 兼容

產品介紹

EBARA 的高溫技術支持在半導體、液晶和太陽能電池制造過程中產生反應副產物的高負荷工藝。由于其高節能性能，能夠支持高負載流程，同時節省能源。另有排量110,000L/min的大排量型號，標配耐腐蝕材料。憑借針對工藝條件量身定制的豐富產品陣容，我們可以應對各種高負載工藝。

規格

模型		單元	EV-M20N	EV-M102N	EV-M202N	EV-M302N	EV-M502N	EV-M505SF	EV-M802N	EV-M805SF	EV-M1205SF
抽速		升/分鐘	1,800	10,000	20,000	30,000	5萬	5萬	8萬	8萬	110,000
極限壓力		出色地	5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5
連接直徑	進氣口		西北40	感光度100	感光度100	感光度100	ISO160	ISO160	ISO200	ISO200	ISO200
連接直徑	排氣口		西北40	西北40	西北40	西北40	西北40	西北40	西北40	西北40	西北40
極限壓力下的近似功率值		千瓦	1.2	1.8	1.9	2.3	2.1	3.9	2.8	4.6	5.3
冷卻水	流量	升/分鐘	3~8	3~8	3.5~8	4~8	5~8	5~8	5~8	5~8	5~8
冷卻水	溫度	℃	最多 30	最多 30	最多 30	最多 30	最多 30	最多 30	最多 30	最多 30	最多 30
氮氣	流量	帕•立方米/秒	26~31	26~31	26~31	26~31	28~33	228	28~33	228	34~35
電源相位/電壓/頻率	200V型號		3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz
電源相位/電壓/頻率	400V型號		3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	-	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz
電源容量		千伏安	3.3	5.4	6	6.8	7.1	15.7	8.3	19.4	14.2
概略質量		公斤	170	320	360	400	500	580	740	820	870

EBARA荏原制作所介紹：

“荏原的目標是成為一家在全球范圍內發展的工業機械制造商，用技術熱情地支持世界。"

自 1912 年創業以來，荏原作為以泵為中心的工業機械制造商，為社會和工業基礎設施提供支持。此后，荏原的領域穩步擴展到冷卻和加熱機械、鼓風機、壓縮機和渦輪機、廢物處理設施的設計、施工和運營管理以及半導體制造設備和設備等領域。

隨著業務環境的迅速變化，荏原制定了長期愿景“E-Vision 2030"，描述了荏原在 2030 年想要實現的目標，并在“用技術熱情支持世界"的旗幟下，荏原將繼續支持社會和世界各地的工業基礎設施支持每個人的豐富生活。

未來100年，荏原將繼續為社會做出廣泛貢獻，提供令所有人滿意的產品和服務。

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