一種壽命長、價格低、性能高、可進行多種啟閉操作的蝶閥。
一種壽命長、價格低、性能高、可進行多種啟閉操作的蝶閥。
長壽命100萬次循環
價格低廉 可以以較低的價格實現自動壓力控制。
高性能：采用高性能伺服電機、伺服放大器、新型驅動機構。
可實現高性能泄漏規格（*注1）、多級位置控制、自動壓力控制。
還可以通過閥門 O 形圈提供緊固公差 O 規格，從而實現最小電導。
NW25 尺寸提供最小直徑 20A。（20A NW25 尺寸還可配備 O 形圈，實現閉的密封。）
特征
低成本閥門MBV-SDⅡ-M4-ARJ系列是一款不帶閥門O型圈的電導控制專用電動蝶閥。
采用通用性強的三菱電機伺服電機作為閥體的驅動源，閥體可以停止并保持在全閉、全開或任何其他位置。
現在可以多級改變閥門的開口面積，使其能夠用于廣泛的應用，例如保持真空容器內的恒定壓力，改變閥門前后的壓力，以及改變排氣流導。
中間停止位置可通過計算機軟件或伺服放大器預先設定，內存中最多可存儲13個位置。
通過從PLC等主機系統發送信號，機器將以良好的重復性停止在設定位置。
通過將可選的雙自動壓力控制系統控制器與FPC系列組合，可以實現包括自動壓力控制在內的各種控制。
MBV-SDⅡ-M4-ARJ系列主要規格
| 法蘭型 | JIS/ISO/CF/NW |
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| 泄漏量 | 1×10 -9 Pa?m 3 /s以下 |
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| 使用面積 | 10 5 ~ 10 -6 帕 |
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| 盤式密封 | 沒有任何 |
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| 軸封 | Viton O 型圈 2 級 |
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| 口徑 | 20A～100A |
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| 電源規格 | 主電源 AC200V（額定電流 1.5A）
控制電源 AC200V（額定電流 0.2A）
接口電源 DC24V（最大 500mA） |
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| 控制方式 | 交流伺服方式 |
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| 氣體接觸材料 | SUS304 |
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