fei掃描電鏡是一種常用的高分辨率掃描電子顯微鏡。它利用電子束與樣品相互作用產(chǎn)生的信號(hào)來獲得樣品的形貌和結(jié)構(gòu)信息。
fei掃描電鏡的工作原理基于電子物質(zhì)相互作用和成像原理。在掃描電中，電子源產(chǎn)生一個(gè)高亮度的電子束，并通過一系列的電子透鏡系統(tǒng)聚焦到極小的尺寸。這個(gè)電子束被稱為原始電子束。
當(dāng)原始電子束與樣品表面相互作用時(shí)，會(huì)發(fā)生多種相互作用，包括散射、吸收和退火等。這些相互作用產(chǎn)生的不同信號(hào)由探測(cè)器捕獲和分析，從而生成圖像。
fei掃描電鏡的工作過程可以分為四個(gè)主要步驟：電子發(fā)射、聚焦、掃描和信號(hào)檢測(cè)。
1、電子發(fā)射：
使用一種稱為場(chǎng)發(fā)射的機(jī)制來產(chǎn)生電子束。通常使用一種稱為斯巴郎鍺(Schottky)型電子源。在該電子源中，一個(gè)針狀的鎢絲被加熱到高溫，以激發(fā)鎢表面的電子發(fā)射。這些發(fā)射的電子經(jīng)過加速電壓后形成原始電子束。
2、聚焦：
原始電子束通過一系列的透鏡系統(tǒng)進(jìn)行聚焦，以使電子束的直徑變得非常小。這些透鏡通常包括準(zhǔn)直透鏡、偏轉(zhuǎn)透鏡和目標(biāo)透鏡等，它們通過調(diào)整電場(chǎng)或磁場(chǎng)對(duì)電子束進(jìn)行聚焦，從而提高分辨率和聚焦深度。
3、掃描：
聚焦后的電子束通過掃描線圈進(jìn)行控制，在樣品表面上沿規(guī)定的路徑進(jìn)行快速掃描。掃描模式可以是點(diǎn)掃描或線掃描，取決于所需的圖像。
4、信號(hào)檢測(cè)：
當(dāng)電子束與樣品交互作用時(shí)，會(huì)產(chǎn)生多種信號(hào)，如二次電子(SE)和反射電子(BSE)。這些信號(hào)被稱為探測(cè)器捕獲，然后通過信號(hào)處理和放大來生成圖像。SE信號(hào)提供樣品的表面拓?fù)湫畔ⅲ鳥SE信號(hào)則提供關(guān)于樣品組成和密度變化的信息。
fei掃描電鏡利用電子束與樣品相互作用和信號(hào)檢測(cè)來獲取高分辨率的表面形貌和組成信息。它的原理基于電子物質(zhì)相互作用和成像原理，并通過電子發(fā)射、聚焦、掃描和信號(hào)檢測(cè)等步驟實(shí)現(xiàn)。這種技術(shù)在材料科學(xué)、生物學(xué)、納米技術(shù)等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用。
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