目錄:廣州金程科學儀器有限公司>>爐式設備>>管式爐>> TFC-1200-60-I-440化學氣相沉積微型單溫區CVD系統管式爐
| 產地類別 | 國產 | 加熱方式 | K型熱電偶,集成式觸摸屏控制 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 面議 | 控溫精度 | ±1℃℃ |
| 內部尺寸 | Ф60*1000mm (Ф30/50/80/100mm可選)mm | 升溫速度（達到最高溫） | ≤10℃/min/min |
| 儀器種類 | 管式爐 | 應用領域 | 化工 |
| 最大功率 | 3000kW | 最高溫度 | 1200℃ |
廣州金程科學儀器公司供應的TFC-1200-60-I-440微型單溫區CVD系統管式爐是一款小型化學氣相沉積薄膜類制備設備，該設備在常規產品上進行了一東列的改進，包括：供氣系統集成、真空系統集成等。化學氣相沉積微型單溫區CVD系統管式爐體現出體現小、操作方便、智能化程度高等特點。
微型單溫區CVD系統管式爐特點：
雙層空氣冷卻鋼殼保持爐表面溫度低于60°C；
高純狀氧化鋁纖維絕緣層，節約能源;
爐膛和加熱元件上的特殊耐火涂層可延長爐子的使用壽命。
微型單溫區CVD系統管式爐參數：
型號： | TFC-1200-60-I-440 |
爐管尺寸： | Ф60*1000mm (Ф30/50/80/100mm可選) |
最高溫度： | 1200℃(短期) |
工作溫度： | 1100℃ |
升溫速率： | ≤10℃/min |
加熱區長度： | 440mm |
額定功率： | 3kW |
適配電源： | AC220V 50/60Hz |
溫控系統： | K型熱電偶，集成式觸摸屏控制 |
控溫精度： | ±1℃ |
密封系統： | 爐管兩端配有快開式密封法蘭 |
外形尺寸： | 620*420*580mm |
氣體量程： | 100~1000SCCM |
氣路數量： | 2~4路(MFC) |
氣路工作溫度： | 5~45℃ |
VRD-8： | 最大承載量:1000Lbs; 抽氣速率:10m3/h； 極限真空度:10-1Pa |
真空度： | 雙極旋片機械泵:極限10^-1Pa ； 分子泵機組:極限10^-3Pa |
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