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江蘇神州半導體科技有限公司

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具體成交價以合同協議為準

產品型號AE CESAR 0230

品牌Advanced Energy/優儀

廠商性質經銷商

所在地揚州市

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更新時間：2024-06-02 15:27:09瀏覽次數：740次

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產品分類品牌分類

射頻電源（RF）: KYOSAN JFK Series MKS GEW Series ADTEC TX Series COMET cito Series AE LFGS Series ULVAC RFS Series MKS Spectrum Series MKS EDGE Series KYOSAN RFK Series ENI GHW Series ENI ACG Series AE RFG Series AE PDX Series AE Paramount Series AE HFV Series AE APEX Series ADTEC TS Series DAIHEN RGA Series COMDEL AE Cesar Series ADTEC AX Series

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產品簡介

供貨周期	現貨	貨號	60200055
應用領域	電子/電池,電氣,綜合	主要用途	RF GENERATOR
品牌	AE	型號	CESAR?0230
M/N	60200055	頻率	2MHz
輸出功率	3000W	設備狀態	Refurbished

AE 射頻電源 Cesar 0230 2MHz 3000W RF Generator 是經過長期現場驗證的具有優良性能和可靠性的射頻發生器。

詳情介紹

AE 射頻電源 Cesar 0230 2MHz 3000W RF Generator 是經過現場驗證的具有可靠性能和穩定輸出能力的優秀射頻發生器，在實機驗證中體現出了優秀的工藝穩定性和輸出控制能力。該型射頻電源能夠實現對射頻輸出的精準控制，廣泛應用在半導體制程濺射、CVD、PECVD、蝕刻等工藝中，且具有優秀表現。Cesar 系列射頻電源具有優秀的成膜能力，在半導體薄膜工藝中，具有成膜速度快，效率高，質量好的優點，在一定程度上能夠提升產線效率和成品良率，具有十分廣泛的應用。

AE 射頻電源 Cesar 0230 2MHz 3000W RF Generator 參數規格：

設備品牌：AE(Advanced Energy)

設別型號：Cesar 0230

AC 電源輸入：3 phase~ +PE，200V~ ，50/60Hz，20.0A

RF 射頻輸出：3000W，~615V，2MHz

通訊接口：RS-232，User Port，Matchbox，Diagnostic

設備散熱：風冷+水冷散熱