ENI 射頻網絡匹配器 MWD-55LD RF Match 是經過長期現場驗證的具有優良工藝穩定性和控制能力的高效射頻阻抗網絡匹配器，該型射頻阻抗網絡匹配器能夠實現對射頻的精準控制。ENI MWD 系列射頻阻抗網絡匹配器具有響應速度快，匹配精度高的優點，廣泛的應用在半導體制程工藝中。該型射頻阻抗網絡匹配器能夠實現對射頻信號的精準控制，對射頻反射功率進行高精度的偵測，并通過控制步進電機的轉動來調節設備內部阻抗值，從而降低功率反射，實現快速匹配。

ENI 射頻網絡匹配器 MWD-55LD RF Match 參數規格：

設備品牌：ENI                                                                                                                                

設備型號：MWD-55LD

AC 電源輸入：1 phase~ /N/PE~ ，100~200V，1A，50/60Hz

RF 射頻輸入：13.56MHz

功率輸入：MAX 5500W

通訊接口：Aanlog I/F，System，Debug，RS-232C I/F

設備散熱：風冷散熱

設備重量：22.7kg，50lbs