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當前位置：江蘇神州半導體科技有限公司>>射頻電源（RF）>> DAIHEN NX-HGA-30B1DAIHEN 射頻電源 NX-HGA-30B1 100MHz 3000W
MKS 射頻電源 53-S30-64 63.87MHz 18KW
ASE 射頻電源 APG-3000PRO RF Generator
DAIHEN 射頻電源 NX-HGA-30B1 100MHz 3000
| 供貨周期 | 現貨 | 貨號 | 2L39-000042-42 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 電子/電池,電氣,綜合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 品牌 | DAIHEN | 型號 | NX-HGA-30B1 |
| P/N | 2L39-000042-42 | 頻率 | 100MHz |
| 輸出功率 | 3000W | 設備狀態 | Refurbished |
DAIHEN 射頻電源 NX-HGA-30B1 100MHz 3000W RF Generator 是經過現場長期驗證的具有優良工藝穩定性和控制能力的高性能射頻電源，能夠實現對射頻輸出的精準控制，被廣泛應用于濺射、CVD、PECVD等半導體制程工藝中。DAIHEN NX-HGA系列射頻電源具有優秀的成膜能力，成膜效果好、速度快，運用于半導體制程薄膜工藝中能夠提高成膜效率，一定程度上可以提高產線效率和產品良率。該型高頻射頻電源堅實耐用，為等離子工藝提供了優秀的可靠性。
DAIHEN 射頻電源 NX-HGA-30B1 100MHz 3000W參數規格
設備品牌：DAIHEN
設備型號：NX-HGA-30B1
AC 電源輸入：3 phase~ ，AC 180~242V，50/60Hz，24A
RF 射頻輸出：100MHz，3000W
通訊接口：Maintenance，Display，DeviceNet，DI/O I/F，Pulse Out
設備散熱：風冷+水冷散熱
水冷進水需求：MAX Torque 30N·m
設備重量：65kg
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