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產(chǎn)品型號(hào)

  VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀

主要特點(diǎn)

   1、配置三個(gè)靶槍，一個(gè)為配套射頻電源用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜，兩個(gè)為配套直流電源用于導(dǎo)電性材料的濺     射鍍膜。（靶槍可以根據(jù)客戶需要任意調(diào)換）

   2、可制備多種薄膜，應(yīng)用廣泛。

  3、體積小，操作簡(jiǎn)便。

  4、整機(jī)模塊化設(shè)計(jì)，真空腔室、真空泵組、控制電源分體式設(shè)計(jì)，可根據(jù)用戶實(shí)際需要調(diào)整購(gòu)買需

    求。

  5、可根據(jù)用戶實(shí)際需要選擇電源，可以一個(gè)電源控制多個(gè)靶槍，也可多個(gè)電源單一控制靶槍。

技術(shù)參數(shù)

  1、電源電壓：220V   50Hz

  2、總功率：2.5KW

  3、極限真空度：< ?E-6mbar（配合本公司設(shè)備使用可達(dá)到?E-5mbar）

  4、工作溫度：室溫-500℃，精度±1℃（可根據(jù)實(shí)際需要提升溫度）

  5、靶槍數(shù)量：3個(gè)

  6、靶槍冷卻方式：水冷

  7、靶材尺寸：Φ2″，厚度0.1-5mm（因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同）

  8、直流濺射功率：500W（可選）

  9、射頻濺射功率：300W/500W（可選）

  10、載樣臺(tái)：Φ140mm

  11、載樣臺(tái)轉(zhuǎn)速：1-20rpm內(nèi)可調(diào)

  12、保護(hù)氣體：Ar、N₂等惰性氣體

  13、進(jìn)氣氣路：質(zhì)量流量計(jì)控制2路進(jìn)氣，每個(gè)流量為100SCCM

產(chǎn)品規(guī)格

 主機(jī)尺寸：500mm×560mm×660mm，整機(jī)尺寸：1300mm×660mm×1200mm；重量：160kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

 直流電源控制系統(tǒng)

1套

2

 射頻電源控制系統(tǒng)

1套

3

 膜厚監(jiān)測(cè)儀系統(tǒng)

1套

4

 分子泵（德國(guó)進(jìn)口）

1臺(tái)

5

 冷水機(jī)

1臺(tái)

6

 冷卻水管（Φ6mm）

4根

7

 靶材（不銹鋼靶、陶瓷靶）

各1件

可選配件

 金、銦、銀、白金等各種靶材