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離子減薄儀的原理和操作說(shuō)明
閱讀：1921 發(fā)布時(shí)間：2022-8-8
離子減薄儀為一種在材料科學(xué)領(lǐng)域普遍應(yīng)用的儀器。離子減薄儀有著較快的制樣速度。可以以較小的耗費(fèi)將高質(zhì)量的TEM樣品制備出來(lái)。該儀器可以快捷方便地進(jìn)行操作，低能量離子槍功能為其所配備，對(duì)能量敏感性樣品的減薄特別適合。液氮冷臺(tái)為其所配備，對(duì)溫度敏感性樣品的減薄特別適合。陶瓷、半導(dǎo)體、金屬和合金等多種材料的透射電子顯微鏡（ TEM）樣品的制備為該儀器的主要用途。
氬氣的電離采用高壓來(lái)進(jìn)行，在電場(chǎng)是作用下，電離后的氬離子對(duì)樣品表面進(jìn)行轟擊。在氬離子的持續(xù)轟擊下，樣品慢慢減薄，一直到使透射電鏡觀察要求滿(mǎn)足，此即為離子減薄儀的工作原理。
減簿及觀察：
1、對(duì)所需的減薄時(shí)間進(jìn)行設(shè)定。
2、對(duì)工作電壓進(jìn)行設(shè)定（通常設(shè)定成4或者5Kev）
3、對(duì)離子槍工作模式進(jìn)行設(shè)定（通常設(shè)定成雙離子束調(diào)變）
4、對(duì)左右離子槍工作角度進(jìn)行調(diào)整（通常為±4度）
5、將氬氣工作模式調(diào)整為自動(dòng)氣體
6、對(duì)載臺(tái)轉(zhuǎn)速進(jìn)行設(shè)定（通常是3RPM）
7、對(duì)啟動(dòng)進(jìn)行點(diǎn)擊開(kāi)始工作。
8、在工作期間能夠?qū)iewing 選項(xiàng)進(jìn)行點(diǎn)擊，通過(guò)CCD來(lái)對(duì)樣品減薄情況進(jìn)行觀察。
9、樣品穿孔后能夠?qū)Φ碗妷哼M(jìn)行更換繼續(xù)減薄，一直到薄區(qū)良好。