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INHA-氣體質量流量計-模擬型
基于多年的經驗，我們未來將會成為一家專門從事真空部件銷售的公司，并且我們將始終致力于為真空行業中的工作人員提供幫助。我們在學校和研究機構中從事真空相關研究已有多年經驗。
產品簡介
詳細介紹
您好！歡迎來到仁荷微電子
基于多年的經驗，我們未來將會成為一家專門從事真空部件銷售的公司，并且我們將始終致力于為真空行業中的工作人員提供幫助。我們在學校和研究機構中從事真空相關研究已有多年經驗。
我們還專門從事MFC的研究和生產，并進口代理和銷售用MFC。此外，我們配備了校準器，可以通過提供MFC專業維修和組裝來解決技術問題和交貨時間。
公司本著“追求好、精益求精"的精神，提供優質的產品和快捷，細致，可靠的服務，精誠合作，共同進步！
| 氣體質量流量計MF-100M | |
| ?三維尺寸圖 | |
| irnn—irn nrrTi | |
| 9 | |
| ?特征 | |
| -響應速拶快 | |
| -準確度高 | |
| -精確的流量測量 | |
| -寬壓力范圍 | |
| -優良的耐腐蝕性 | |
| -出色的線性度 | |
| M3 | |
| Qi | |
| t | |
| 60 | |
| riirm^rn | |
| • Sccm,Slm表示標準氣體流量(20°C 101.3Kpa) | |
| ?產品規格 | |
| 型號 | MF-100M |
| 流量規格（N2 ） 控制量程 準確度 線性精度 重復精度 響應時間 正常工作溫度范圍 正常工作壓力范圍 漏率 電源 信號類型 密封類型 控制類型 連接器類型 氣路接口類型 接口類型 材質 預熱時間 | 10SCCM-30SLM 2%~100%of Full Scale <±1.0% of Full Scale (20 , 30SLM : <±1.5 Full Scale) <±0.5% of Full Scale <±0.2% of Full Scale<2 sec 0~50°C(Accuracy Guaranteed: 15~35°C) 0~50 Bar(g) 1x10-9 atm.cc/sec He + 15Vdc or 24Vdc/300mA 0-5V or 4-20mA Viton/Buna/Kalrez/Teflon/Epdm X D-Sub 9 Pin Connector Male 1/4" , l/8n , 3/8"LOK l/4nVCR Analog Type SUS 316L 15 min(Accuracy Guaranteed : 30 min ) |
| ?電氣連接 | |
| 單位：mm | |
| "X"尺寸規格 | |
| 接口規格 | |
| l/8"Lok | |
| l/4"Lok | |
| 3/8"Lok | |
| 1/4 "VCR | |
| mm | |
| 116.7 | |
| 121.3 | |
| 124.4 | |
| 117.8 | |
| Mass Flow Controller | |
| and Meter | |
| MF WOSeries | |
| FLOW 唾 | |
| 電氣連接方式 | |
| 編號 | 功能 |
| 1 | 信號公共端 |
| 2 | 0~5Vdc信號輸出 |
| 3 | 空 |
| 4 | 4~20mA信號輸出 |
| 5 | 電源 |
| 6 | 地 |
| 7 | 空 |
| 8 | 空 |
| 9 | 電源公共端 |
| INHA® | |
| INHA® | |
| MASS FLOW CONTROLLER | |
| MASS FLOW CONTROLLER | |
| 圈ITEl值 | |
| I | |
| z | |