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基于多年的經驗，我們未來將會成為一家專門從事真空部件銷售的公司，并且我們將始終致力于為真空行業中的工作人員提供幫助。我們在學校和研究機構中從事真空相關研究已有多年經驗。
我們還專門從事MFC的研究和生產，并進口代理和銷售用MFC。此外，我們配備了校準器，可以通過提供MFC專業維修和組裝來解決技術問題和交貨時間。
公司本著“追求好、精益求精"的精神，提供優質的產品和快捷，細致，可靠的服務，精誠合作，共同進步！
| 氣體質量流量計MF-100M |
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| ?三維尺寸圖 |
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| irnn—irn nrrTi |
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| 9 |
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| ?特征 |
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| -響應速拶快 |
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| -準確度高 |
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| -精確的流量測量 |
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| -寬壓力范圍 |
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| -優良的耐腐蝕性 |
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| -出色的線性度 |
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| M3 |
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| Qi |
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| t |
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| 60 |
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| riirm^rn |
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| • Sccm,Slm表示標準氣體流量(20°C 101.3Kpa) |
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| ?產品規格 |
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| 型號 | MF-100M |
| 流量規格（N2 ） 控制量程 準確度 線性精度 重復精度 響應時間 正常工作溫度范圍 正常工作壓力范圍 漏率 電源 信號類型 密封類型 控制類型 連接器類型 氣路接口類型 接口類型 材質 預熱時間 | 10SCCM-30SLM 2%~100%of Full Scale <±1.0% of Full Scale (20 , 30SLM : <±1.5 Full Scale) <±0.5% of Full Scale <±0.2% of Full Scale<2 sec 0~50°C(Accuracy Guaranteed: 15~35°C) 0~50 Bar(g) 1x10-9 atm.cc/sec He + 15Vdc or 24Vdc/300mA 0-5V or 4-20mA Viton/Buna/Kalrez/Teflon/Epdm X D-Sub 9 Pin Connector Male 1/4" , l/8n , 3/8"LOK l/4nVCR Analog Type SUS 316L 15 min(Accuracy Guaranteed : 30 min ) |
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| ?電氣連接 |
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| 單位：mm |
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| "X"尺寸規格 |
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| 接口規格 |
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| l/8"Lok |
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| l/4"Lok |
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| 3/8"Lok |
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| 1/4 "VCR |
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| mm |
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| 116.7 |
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| 121.3 |
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| 124.4 |
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| 117.8 |
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| Mass Flow Controller |
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| and Meter |
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| MF WOSeries |
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| FLOW 唾 |
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| 電氣連接方式 |
| 編號 | 功能 |
| 1 | 信號公共端 |
| 2 | 0~5Vdc信號輸出 |
| 3 | 空 |
| 4 | 4~20mA信號輸出 |
| 5 | 電源 |
| 6 | 地 |
| 7 | 空 |
| 8 | 空 |
| 9 | 電源公共端 |
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| INHA® |
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| INHA® |
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| MASS FLOW CONTROLLER |
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| MASS FLOW CONTROLLER |
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| 圈ITEl值 |
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| I |
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| z |
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