非接觸式單點薄層電測量系統。該裝置包含一個渦流傳感器組，感應弱電流到導電薄膜和材料。非接觸式薄膜方塊電阻測量儀試樣中的感應電流產生與測量對象的片電阻相關的電磁場。電渦流技術不依賴于表面特征或形貌。此外，非接觸式單點方阻測試儀不需要如已知的2或4點探針測試(2PP, 4PP)或霍爾效應或范德波測量一樣進行任何形式的充分的樣品接觸備樣。非接觸式單點方阻測試儀既不需要設置測試結構，也不受表面粗糙度影響。

渦流儀器不存在機械磨損，使用壽命長。它的獨立性與接觸質量和它的高速允許實現高重復性和準確性，有利于在研發和測試實驗室的各種薄膜的系統質量保證。