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紫外臭氧清洗儀是一種簡單、快速高效的材料表面清洗設備
閱讀：578 發布時間：2022-7-25
紫外臭氧清洗儀是一種簡單，經濟，快速高效的材料表面清洗設備，采用長壽命U、石英低壓汞蒸汽格柵燈，樣品臺高度可調并可選加熱控溫，以便達到清洗效果。能快速去除大多數無機基材（比如石英，硅片，金，鎳，鋁，砷化鎵，氧化鋁等）上的有機污染物。
工作原理：
通過產生185nm和254nm高強度UV光分解有機分子（污染物）。185nm的光可以將氧分子O2轉變成活性的O3臭氧分子。254nm的光同時激發表面的有機分子，使其更容易被臭氧分子吸收并分解。由于臭氧分子存在時間短并且同時也被254nm光分解，樣品臺可以調節樣品到燈管的距離來優化性能。PSD和PSDP分解有機污染物，然后形成CO2和H2O蒸氣，同時也將臭氧分子轉變成氧分子。
紫外臭氧清洗儀特點
1、UVO基礎型采用可編程數字控制器，設置操作簡單方便，四鍵操作控制。UVOP和UVOT系列采用5寸彩色觸摸屏設置顯示計時時間及加熱溫度。
2、自動補償功能，自動恒定光強光密度，不會因為低壓汞燈老化光強衰減影響清洗效果。
3、數字倒計時顯示清洗時間，1-999分鐘之間可自行設置清洗時間。
4、可隨時手動中斷處理過程。
5、自動記錄之前清洗參數設置。
6、樣品臺可控溫（可選），控溫范圍RT-260℃，控溫精度0.1℃。
7、頂置下壓式鉸鏈開關蓋方式，操作簡單方便。
8、上置式樣品臺設計，360度自由放置樣品，操作方便。
9、樣品臺高度可調，通過調節燈與樣品之間的間距，可以合理定位樣品高度和位置，并可鎖定。