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美國SRS PPR系列過程檢測系統

參   考   價: 10

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產品型號

品       牌其他品牌

廠商性質經銷商

所  在  地北京市

更新時間:2023-08-04 16:25:30瀏覽次數:1190次

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產地類別 進口 價格區間 面議
應用領域 醫療衛生,化工,生物產業,制藥,綜合
美國SRS PPR系列過程檢測系統
主要應用:真空在線檢測;高真空成份分析;MOCVD 等在線過程監控;10mTorr-10Torr 真空度內反應過程檢測等等

美國SRS PPR系列過程檢測系統

主要應用:真空在線檢測;高真空成份分析;MOCVD 等在線過程監控;10mTorr-10Torr 真空度內反應過程檢測等等

PPR過程監控系統是過程監測和診斷的真空檢測儀。兩種不同的進氣路徑提供給殘余氣體分析儀(RGA):一路高壓進氣模式用來檢測基本真空,一路分壓模式用來檢測過程壓力。壓力減少路徑包含一個微小孔徑,其目的是使運行壓力工作在0.01,0.1,1或10Torr。 它使待測壓力環境滿足RGA的工作要求約10-6 Torr。 這種壓力控制系統是由渦輪分子的混合泵和隔膜甭組成。 兩臺泵為無油工作,不會污染您的操作系統。
PPR進氣接口鏈接到被檢測的過程檢測系統有幾種方法。 該系統包括RGA,旁通閥和三通,控制器,渦輪泵,隔膜泵,和Windows 軟件程序進行數據采集和控制。
該軟件可用于多種模式,包括模擬掃描,直方圖模式,壓力與時間模式。雙路法拉第杯和電子倍增器檢測器,電子倍增器提供更高的靈敏度和較高的掃描速度。PPR系統出廠時組裝校準,可便捷的連接到真空系統中。

主要應用:真空在線檢測;高真空成份分析;MOCVD 等在線過程監控;10mTorr-10Torr 真空度內反應過程檢測等等

主要性能

  • 0.01, 0.1, 1.0 或 10 Torr進口壓力

  • 3 × 10-5 Torr-L/s流量

  • 2秒的響應時間(0.1Torr)

  • 100、200或300amu系統

  • 現場可替換的電子培增管和燈絲

  • 6個數量級動態范圍


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