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為了解決煙氣分析儀傳統的校準方式不能滿足連續監測的要求這一問題,考慮引入一個標準測量儀器,將進入煙氣分析儀的氣體引入標準測量儀器,對流經煙氣分析儀的氣體進行測量,將標準測量儀器的測量結果作為被測氣體的約定真值,對煙氣分析儀進行在線校準。煙氣經處理后進入煙氣分析儀和標準測量儀器,將兩者的測量結果進行比較,從而實現煙氣的不間斷測量,同時對煙氣分析儀進行校準。

目前能夠同時對多種氣體成分進行連續分析的儀器有在線色譜儀和質譜儀等。在線色譜儀的定量準確性較高,但是其分析周期較長,每次進樣的分析時間在3～30min,不適合煙氣成分快速變化的場合。質譜儀用于測定煙氣中的氣體成分時,具有響應時間快(一般不超過10s)、測量范圍寬(一般氣體濃度范圍均可達到0～V/V)、適用范圍廣(煙氣中的所有氣體均可一次性測量)等優點,可以作為煙氣分析儀在線校準的參考標準,并且經校準的質譜儀測量誤差不超過滿量程的±1%，可以滿足使用要求。

早期的質譜儀主要用于同位素的定性分析,隨著現代儀器技術的發展和計算機技術的應用,現代在線質譜儀可以對分子量較小、結構穩定的無機化合物進行定性和定量分析,并且樣品不需要預先分離提純,大大拓展了質譜儀在工業生產領域的應用。用于氣體樣品分析的在線質譜儀已經廣泛應用于石化、鋼鐵等行業生產現場的過程控制;同時由于質譜儀的響應時間非常快,所以通過多氣路采樣系統,質譜儀還可以同時對多臺煙氣分析儀進行在線校準,也提高了儀器的使用效率。