激光三維表面輪廓儀可進行材料表面三維輪廓測量、粗糙度測量、寬度、高度、角度、半徑、粗糙度等二維和三維數據分析，無需拼接即可直接測量大面積樣品。Z1軸（檢測器）配備高精度圓弧光柵尺和新型測量臂的輪廓測量儀。高精度圓弧光柵尺可直接讀取測量針的圓弧軌跡，實現高精度、高分辨率。與傳統機型相比，新型測量臂將Z1軸的測量范圍增加了10mm，減少了工作量。測量臂安裝部分采用磁力連桿，此觸點即可完成測量臂的裝卸，提高了使用的便利性。
在CF4激光共焦傳感器中，被照亮的小孔在被測表面上成像。激光束通過物鏡快速上下移動，聚焦在被測物體上。只有當焦平面與真實表面上的點配對時，探測器才會記錄表面信號。因此，物鏡必須移動一個小的垂直步距，以便通過位移傳感器的位置移動來測量信號。根據特殊的插值技術，系統的精度可以達到10nm以下。激光三維表面輪廓儀可生成高達150x150mm掃描區域的詳細3D和2D圖像。其重復性和超低力使其能夠測量任何材料的表面形貌，用于科研和生產環境。數據分析SPIP軟件是工業上有用的軟件。用戶可以對各種應用進行表面分析。單方面，它的掃描面積非常大，用途也比較多。
激光三維表面輪廓儀的應用：
1、集成電路封裝和表面貼裝：快速獲取封裝翹曲、引腳共面度、粗糙度、焊錫量和引腳輪廓。
2、厚膜混合電路：自動測量膜厚。
3、精密零件：測量精密五金配件、塑料和半導體材料的輪廓和粗糙度。
