光學輪廓儀是一種基于光學干涉原理的精密測量儀器。其測量原理主要基于白光干涉技術，結合精密Z向掃描模塊和3D建模算法等，對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像。具體過程如下：
光源與分光：光學輪廓儀的光源發出的光經過擴束準直后，經過分光棱鏡分成兩束光。
反射與干涉：一束光經被測表面反射回來，另一束光經參考鏡反射。這兩束反射光最終匯聚并發生干涉。
形貌轉化為干涉條紋：顯微鏡將被測表面的形貌特征轉化為干涉條紋信號。
數據處理：通過系統軟件對干涉條紋信號進行數據處理與分析，獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，實現器件表面形貌的3D測量。
優勢：
光學輪廓儀相較于其他測量工具，具有顯著的優勢，主要包括以下幾點：
高精度：能夠實現亞微米級別的形狀和表面粗糙度測量，測量精度高于是其他測量方法的。干涉條紋每移動一個條紋間距，光程差就改變一個波長(～10^-7米)，因此其測量精度高。
非接觸式：采用非接觸式測量方法，不會對被測物體造成損傷或變形，特別適用于各種材料、形狀和尺寸的物體測量。
大面積快速測量：測量范圍為毫米級，XY樣品臺可達100mm*100mm，能夠輕松測量大面積樣品。
可視化3D功能：配備強大的處理軟件，可以進行表面粗糙度、形狀、臺階高度的測量，并支持任意角度移動樣品進行3D圖形測量，多角度分析樣品圖像。
高效性：可實現快速高效的測量，并能夠完成大批量樣品的自動化測量。
使用便捷：只需將樣品放在樣品臺上，即可直接測量，無需更換耗材，只需一個LED光源。
綜上所述，光學輪廓儀測量原理和顯著的優勢，在制造業、醫療設備、半導體和生命科學等多個領域得到廣泛應用，為產品質量控制、科學研究和生產過程監測提供了強有力的支持。
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