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產品簡介
詳細介紹
Park XE15大樣品臺工業原子力顯微鏡概述：
Unique MultiSample™ scan boosts research productivity
Park XE15能夠一次性掃描和測量多個樣品，讓您的效率一高再高。您只需要將樣品放入工作臺，再啟動掃描程序便可。該功能也可以讓您在相同的環境條件下掃描樣品，從而提高數據的準確性和穩定性。
Large sample size increases possibilities
與大多數的原子力顯微鏡不同，Park XE15可掃描大尺寸為200 mm x 200 mm的樣品。這樣既滿足了研究員對掃描大樣品的需求，也讓故障分析工程師能夠掃描硅片。
Features adaptable to any need
Park XE15配有絕大多數的掃描模式，可掃描各種尺寸的樣品。得益于此，Park XE15是共用實驗室的配置，能夠滿足每個人的需求。
Park XE15大樣品臺工業原子力顯微鏡技術信息：
使用MultiSample™掃描進行方便的樣品測量
- 一次性自動多樣品成像
- 特別設計的多樣品卡盤，可裝載多達16個樣品
- 全機動XY軸樣品臺，行程范圍達150 mm x 150 mm
借助電動樣品臺，MultiSample™掃描模式能夠允許用戶自行編程，借助自動化步進掃描，實現多區域成像。
流程如下：1.記錄用戶定義的多個掃描位置
2.在d一個掃描位置成像
3.提升懸臂
4.將電動樣品臺移至下一個用戶定義坐標
5.探針接近
6.重復掃描
記錄多個掃描位置十分簡單，您可以輸入樣品-樣品臺坐標或使用兩個參考點校正樣品位置。該自動化功能大大減少您在掃描過程中需要的工作，大大提高了生產力。
通過消除串擾進行準確的XY掃描
Park Systems的*串擾消除(XE)掃描系統能夠有效解決上述問題。我們使用了二維柔性平臺專門掃描樣品的XY軸位置，并通過壓電疊堆傳動裝置專門掃描探針懸臂的Z軸位置。用于XY軸掃描的柔性平臺采用了固體鋁材，其具有超高的正交性和出色的平面外運動軌跡。柔性平臺可在XY軸掃描大型樣品（1 kg左右），頻率z高達100 Hz左右。由于XY軸的帶寬要求遠低于Z軸的帶寬要求，因此該掃描速度已然足夠。用于Z軸掃描的壓電疊堆傳動裝置具有大的推拉力和高共振頻率（約10 kHz）。
二維柔性平板掃描儀，掃描范圍為10 µm x 10 µm
柔性High Force Z掃描儀
滑動鏈接SLD
多樣本卡盤
特別設計的多樣品卡盤，可裝載多達16個樣品，可由MultiSample自動掃描模式按序掃描。借助*的鏡頭設計，用戶可從側面輕易操作樣品和探針。
無障礙樣品架
手動XY樣品臺
手動光學平臺
帶有控制器板中的DSP板的Park XE控制電子設備
原子力顯微鏡的納米級信號是由高性能的Park XE電子控制器所控制和處理的。憑借著低噪聲設計和高速處理單元，Park XE電子控制器成功實現了True Non-Contact™模式，這是納米級成像和準確電壓電流測量的理想選擇。- 高性能處理單元，頻率達600 MHz，處理速度高達4800 MIPS
- 低噪聲設計，帶來準確的電流電壓測量
- *系統，融合各種掃描探針顯微鏡技術
- 外部信號獲取模塊，獲取原子力顯微鏡輸入/輸出信號
- 大16幅數字圖像
- 大分辨率：4096 × 4096
- 16位ADC/DAC，頻率為500 kHz
- 隔離通過TCP/IP連接的電腦電噪聲
掃描模式
可擴展的AFM解決方案
支持Park行業中廣泛的SPM模式和選項
現如今，研究院需要描述不同測量條件和樣品條件下的各類物理性質。Park Systems帶來業內多的掃描探針顯微鏡模式、多的原子力顯微鏡選擇和兼容性和升級性，讓樣品*的表征掃描變得簡單。
