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硅烷 （SiH4)
項目名稱 | 純度指標（%） | |
甲硅烷 | ≥99.99 | |
雜質含量（ppm)
| 氬氣（Ar） | ≤0.05 |
氯硅烷（Chlorosilane)） | ≤0.15 | |
乙硅烷（Si2H6)) | ≤0.5 | |
氦氣（He） | ≤1 | |
一氧化碳（CO） | ≤0.05 | |
氧氣（O2） | ≤0.05 | |
氮氣（N2） | ≤1 | |
氫氣（H2） | ≤20 | |
二氧化碳（CO2） | ≤0.05 | |
甲烷（CH4） | ≤0.05 | |
碳（C） | ≤0.2 | |
二氯二氫硅（SiH2Cl2) | ≤0.5 | |
甲基硅烷（CH3Si) | ≤0.5 | |
金屬離子（Metals) | ≤0.03 | |
甲硅烷包裝：采用44L、47L鋼瓶充裝，也可根據客戶需要，分裝到8L的氣瓶中。
用途：硅的外延生長、多晶硅、氧化硅、氮化硅等的原料，太陽能電池，光導纖維，有色玻璃制造，化學氣相淀積。
理化性質: 硅烷在常溫常壓下為具有惡臭的無色氣體。在溫室下著火，在空氣或鹵素氣體中發生爆炸性燃燒。即使用其他氣體稀釋，如果濃度不夠低，仍能自燃。硅烷在氬氣中含2%，氮氣中含2.5%，氫氣中含1%，它仍能著火。硅烷濃度在小于1%時不燃，大于3%時自燃，1%～3%時可能燃燒。
注意事項：使用硅烷的工作場所要通風，保持室內空氣干燥。硅烷裝置要嚴格密封，避免和空氣、水分相接觸，為此，用氣裝置在使用前要用惰性氣體置換里面的空氣后抽真空，這樣反復進行置換和抽真空，一定要*清除系統中的空氣和水分。裝置使用以后，也要用惰性氣體置換清洗系統中的硅烷。可以用氦探漏器探漏。少量硅烷泄漏時，從氧化硅粉末的折出中也可以得知。鋼瓶要存放在陰涼干燥通風良好之處，要遠離熱源和氯、溴等氧化劑。工作場所要配備足夠的防護用品及應急用品。硅烷無腐蝕性，可以使用碳鋼、不銹鋼、銅、黃銅、蒙乃爾、耐蝕鎳基合金。也可用聚四氟乙烯、聚三氟氯化乙烯聚合體、尼龍、三氟氯乙烯樹脂、聚乙烯、聚酯、石英玻璃。不能用鉛、橡膠、脂肪、潤滑油、玻璃。凡是可燃性的有機高分子材料應該避免使用。當硅烷大量泄漏時。緊接著就要著火，所以無法用滅火器滅火。但是可以控制火勢，使火災不向周圍蔓延。燃燒時輻射熱不太高，所以應盡可能去關閉閥門以止住氣體的流出。可用白雪石粉或石墨粉熄火。廢氣可用水或堿吸收，或者在特殊燃燒器中燃燒成SiO2之后用專門的過濾器捕捉。儲存于陰涼、通風的庫房。遠離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應與易（可）燃物、氧化劑分開存放，切忌混儲。儲區應備有泄漏應急處理設備。密閉操作，局部排風。操作人員必須經過專培訓，嚴格遵守操作規程。建議操作人員佩戴過濾式防毒面具（半面罩）。遠離易燃、可燃物。防止氣體泄漏到工作場所空氣中。避免與氧化劑接觸。搬運時輕裝輕卸，防止鋼瓶及附件破損。配備泄漏應急處理設備。
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