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氫氣 （H2)
項目名稱 | 純度指標（%） | ||
氫氣 | ≥99.9999 | ≥99.999 | |
雜質含量（ppm)
| 氧氣（O2） | ≤0.2 | ≤1 |
水（H2O） | ≤1 | ≤3 | |
氮氣（N2） | ≤0.4 | ≤5 | |
一氧化碳（CO） | ≤0.1 | ≤1 | |
二氧化碳（CO2) | ≤0.1 | ≤1 | |
甲烷（CH4） | ≤0.2 | ≤1 | |
包裝：采用40L、49L鋼瓶充裝，也可根據客戶需要分裝到8-10L的氣瓶中。
用途：半導體制造用平衡氣，蝕刻氣、標準氣、零點氣、校正氣、熱氧化、外延、擴散、多晶硅、鎢化、離子注入、氣體燃料、石油精煉等。
理化性質: 有窒息性，有易燃易爆性。它是世界上已知的密度小的氣體，只有空氣的1/14，即在0 ℃時，一個標準大氣壓下，密度為0.0899 g/L。
注意事項：因為是易燃壓縮氣體，故應儲存于陰涼、通風的倉間內。倉內溫度不宜超過30℃。遠離火種、熱源。防止陽光直射。應與氧氣、壓縮空氣、鹵素（氟氣、氯氣、溴）、氧化劑等分開存放。切忌混儲混運。儲存間內的照明、通風等設施應采用防爆型，開關設在倉外，配備相應品種和數量的消防器材。禁止使用易產生火花的機械設備工具。驗收時要注意品名，注意驗瓶日期，先進倉的先發用。搬運時輕裝輕卸，防止鋼瓶及附件破損。
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