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VCR音速噴嘴計(jì)量模組ZEX-VCR音速噴嘴(限流孔板)計(jì)量模組概述

ZEX-VCR 微米級(jí)超純特氣限流音速噴嘴模組,是一款應(yīng)用于氣體流量限流 和定量的場(chǎng)合,其主要特點(diǎn)就是精度高,耐高溫和高壓等,目前應(yīng)用于特純氣體的限流控制,和正壓法音速噴嘴的標(biāo)定/校準(zhǔn)等設(shè)備制造，

具有超過(guò)的耐溫性能 正常工作溫度可到達(dá)200C,結(jié)構(gòu)采用硬質(zhì)鎢鋼 與外殼不銹鋼采用銅粉高溫熔接技術(shù),保證長(zhǎng)時(shí)間高溫下使用焊接可靠。目前生產(chǎn)的臨界音速噴嘴已經(jīng)用于某航空航天高溫測(cè)試平臺(tái)。

VCR音速噴嘴計(jì)量模組產(chǎn)品特點(diǎn):

微米級(jí)的激光加工技術(shù),精度更高

采用硬密封技術(shù) 無(wú)橡膠 密封件不存在氣體吸附的問(wèn)題基于音速噴嘴臨界流音速噴嘴工作原理設(shè)計(jì) 應(yīng)用技術(shù)成熟

技術(shù)參數(shù):

流量范圍:5~5000mL/min

口徑范圍:10~200um

壓力范圍:0.5-4MPa

ZEX-SNMAG2110)051

噴芯材料:CVD(人造鉆石)/硬質(zhì)鎢鋼

結(jié)構(gòu)材料:316L

VCR音速噴嘴計(jì)量模組應(yīng)用行業(yè):半導(dǎo)體 光學(xué)鍍膜 空氣揮發(fā)物 VOC分析等其他特氣控制領(lǐng)域