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產(chǎn)品簡介
小型1000℃RTP管式爐是一款精巧型快速熱處理管式爐，配有4“石英管和真空法蘭，是專為半導(dǎo)體或太陽能電池基片（大3“）的退火而設(shè)計(jì)。本機(jī)采用10KW紅外燈管加熱，升溫速度為 50℃/s，設(shè)有30段溫度控制，精度為±1℃。此外，通過RS485口和控制軟件可在計(jì)算機(jī)上實(shí)現(xiàn)實(shí)時控制和溫度曲線顯示。
詳細(xì)介紹
小型1000℃RTP管式爐 是一款精巧型快速熱處理管式爐。本機(jī)采用紅外燈管加熱，升溫速度為 50℃/s，設(shè)有30段溫度控制，精度為±1℃。
小型1000℃RTP管式爐技術(shù)參數(shù)
技術(shù)參數(shù) |
1、電源：220AC，50Hz/60Hz 2、爐體結(jié)構(gòu)：雙層結(jié)構(gòu)構(gòu) 3、石英管：外徑?110mm，內(nèi)徑?103mm，長380mm 4、樣品架：76mm 5、加熱元件：紅外燈管，、 7、熱偶：K型熱偶 8、設(shè)計(jì)溫度：1100℃， 9、控溫精度：±1℃ 10、升溫速度：RT-800℃內(nèi)50℃/s，800℃-1000℃內(nèi)10℃/s 12、真空度：（機(jī)械泵），（分子泵） 13、真空法蘭： 帶有KF-D25高真空不銹鋼法蘭，配有兩個高溫O型圈密封 14、流量計(jì)：16ml/min-160ml/min | ||
