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工作原理：

SF6氣體抽真空充氣裝置具有回收、充放、凈化、抽真空、貯存、灌瓶等綜合性功能，系統比較*，參見附錄一系統圖。各功能的串聯或切換主要通過操作集中于面板一側的電控箱和球閥來完成。

采用冷凍液化法。在回收時，利用壓縮機的抽吸性和壓縮性把SF6電器設備內一定壓力的SF6氣體吸入壓縮機，并壓縮至某一較高的壓力。同時利用R22制冷劑的低蒸發溫度特性，將較高溫度的SF6氣體冷卻至冷凝溫度進行液化、貯存。這樣連續抽吸至SF6壓縮機串聯運行，直至達到回收終壓力。

在充放時，首先利用本裝置的真空泵對SF6電器設備（或鋼瓶）和連接管路進行抽真空，然后直接利用壓差或利用壓縮機的抽吸性并造成一定的壓差將裝置貯存容器內的SF6充入SF6電器設備，直至達到所需的工作壓力。在需灌瓶時則同時利用如前所述的R22制冷劑的特性，將液化的SF6直接灌入鋼瓶。

凈化功能是在完成上述回收、充放功能時同步完成的。