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微電子設(shè)備磨擦力的新處理方法(圖)

閱讀:1505      發(fā)布時(shí)間:2010-04-22
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微型電子設(shè)備中的微電子機(jī)械系統(tǒng),即MEMS經(jīng)常由于磨擦吸附力(在物體表面相互磨擦產(chǎn)生的吸引力)而失效。美國阿肯色大學(xué)的科學(xué)家研究出一種“表面-外形”技術(shù)手段來降低這種力從而使微型部件間的相互影響減弱,使其能正常工作。 

機(jī)械工程系助理教授鄒敏(音譯)說:“在MEMS設(shè)備中解決磨擦吸附力有兩種途徑,一種是化學(xué)方法——即在表面使用化學(xué)藥劑來減弱磨擦力;另一種就是外形技術(shù),這種方法很簡單,我們設(shè)計(jì)的納米凸起可以降低物體表面的接觸面積。”

這一項(xiàng)目的目標(biāo)是制造一個(gè)疏水表面,用通用工程基準(zhǔn)來說的話就是“水接觸角”,疏水性指的是水形成水珠或者水球的過程,就如同雨落在汽車擋風(fēng)玻璃上的樣子(這是用化學(xué)手段實(shí)現(xiàn)的)。水接觸角是一種用來衡量水珠大小的標(biāo)準(zhǔn),水接觸角大于90度的話就可以被認(rèn)作是疏水的,如大于150度的話則可稱作“超疏水”。當(dāng)水接觸角近似180度時(shí),水珠會(huì)形成一個(gè)近似的球面,接觸面積是小的。
只用外形技術(shù)手段,鄒的研究小組成功的制造了水接觸角高達(dá)137度的硅表面,還從未有其他科學(xué)家在不使用化學(xué)藥劑的前提下實(shí)現(xiàn)過更高的水接觸角。鄒的研究小組還將表面外形技術(shù)和化學(xué)手段結(jié)合起來進(jìn)行研究,在這項(xiàng)研究中他們實(shí)現(xiàn)了大于150度的水接觸角,從而制造出超疏水表面。 

鄒的研究小組是從無定形硅(沒有固定結(jié)晶形態(tài)和形狀的硅)的研究開始的。研究者用鋁誘導(dǎo)結(jié)晶,使之成為納米晶粒或微晶粒,形成“粗糙”表面。用常規(guī)爐采用退火手段(加熱和冷卻)誘導(dǎo)無定形硅結(jié)晶化。 

鄒說:“我們證實(shí)了通過控制退火的溫度和時(shí)間,能夠控制納米顆粒覆蓋的表面面積” 

除了電子設(shè)備,研究還可應(yīng)用于生物醫(yī)學(xué)設(shè)備。不僅如此,它還進(jìn)一步深化了對磨擦學(xué)的理解,這項(xiàng)對磨擦的研究,包括接觸面相對運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生的磨損和潤滑,可應(yīng)用于齒輪、軸承以及電腦硬件中的磁頭表面。 

鄒的這項(xiàng)研究1月發(fā)表于美國機(jī)械工程學(xué)會(huì)召開的微型和納米系統(tǒng)集成與工業(yè)化大會(huì)上,并獲得了大會(huì)的*論文獎(jiǎng)。

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美國科諾工業(yè)有限公司 (戰(zhàn)略合作伙伴:上海梭倫信息科技有限公司)

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