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技術文章

我司銷售的自動多波長激光劃線/燒蝕/切割站(HO-LSWS-300X)

閱讀:70          發(fā)布時間:2024-12-9

Holmarc 自動化多波長激光劃線/燒蝕/切割站(帶微型檢測相機)HO-LSWS300X 型是一種多功能激光系統(tǒng),設計用于精密劃線、燒蝕和切割。與傳統(tǒng)的機械方法相比,它是一種用于創(chuàng)建更窄劃線的有用工具。它是一種非接觸式工藝,可最大限度地減少微裂紋和基板損傷。激光劃線具有峰值功率高、光束質量好的特點,因此劃出的線條更清晰,產(chǎn)量更高。激光劃線工藝的優(yōu)勢包括:可對硬質或脆性材料進行清潔劃線;成本更低;崩邊和微裂紋更少;切割寬度更窄,每個晶片可加工更多零件;工藝公差更大,從而以更低的成本實現(xiàn)可靠的生產(chǎn)。

                                                                                                   規(guī)格

 自動多波長激光劃線/燒蝕/切割站

    劃線/燒蝕/切割區(qū)域 200 x 200 毫米、150 x 150 毫米和 100 x 100 毫米(可選)

    基于 Galvano 的劃線/切割方法

    Galvano 速度限制 0 - 1500 毫米/秒

    最小線寬 0.01 毫米

    重復精度 ± 0.002 毫米

    引導激光 紅色

    聚焦 機動化步進電機控制聚焦

    移動范圍 300 毫米

    記憶聚焦按鈕

    封閉式腔體設計

    氣體入口 主動輔助氣體吹掃選項

    成像/檢測/校準 是


  遠心數(shù)碼檢測/測量定位顯微鏡

    設備類型 直立式

    有效放大倍率 1 X

    基于 PC 的軟件測量

    工作距離 40 毫米

    工作喉管 100 毫米

    物鏡設計遠心

    C 型安裝座

    588 納米波長時的典型畸變率為 0.0083

    588 納米時的典型遠心率 0.02

    工作距離公差 ± 1 毫米

    成像照明 基于 HB-LED 的頂部、底部和同軸照明

    照明控制 連續(xù)可變 PC 控制


   傳感器類型 冷卻式 CMOS

    陣列對角線 15.86 毫米

    分辨率 2000萬像素,5472(高)x 3648(寬)

    像素尺寸 2.4 μm x 2.4 μm

    有效面積 13.1 毫米 x 8.8 毫米

    幀頻 15fps @ 5472 x 3648

    曝光時間 18 μs - 15 秒

    位深度 16 / 8 位

    相機尺寸 68 x 68 x 46 毫米

    數(shù)據(jù)接口 USB 3.0


                                                                                                  繪圖平臺

    平臺:自動 XYZ 平臺,帶 Z 軸自動聚焦功能

    聚焦和 XY:電動伺服電機控制

    分辨率:1 微米

    定位精度:10 微米(帶編碼器

    掃描速度:40 毫米/秒

    控制器:HOLMARC XYZ 步進控制器單元


激光器 1

532 nm LD PUMPED 全固態(tài) AOM Q 開關激光器

    波長(納米) :  532 ± 1

    工作模式 :  聲光 Q 開關

    平均功率(瓦):20W @ 50kHz

    平均功率(瓦) :  單脈沖能量 (mJ) * 重復頻率 (kHz)

    單脈沖能量(微焦耳) >400 uJ @ 50kHz

    重復頻率 (kHz) 50~100

    脈沖寬度 (ns) ~11 @ 50 kHz

    橫向模式 TEM00

    光束圓度 (%) >85

    M2 因子 <1.3

    預熱時間(分鐘) <10

    光束發(fā)散,全角(mrad) <2

    孔徑處的光束直徑(1/e2,毫米) ~3

    從底板算起的光束高度(毫米) 91

    冷卻方式 水冷

    工作溫度:10 ~ 35 (oC)

    電源電壓:100 - 240 VAC 或 24 VDC

    尺寸: 640 * 260 * 124 毫米

激光器 2

1064 nm LD PUMPED 全固態(tài) AOM Q 開關激光器

    波長 (nm) :  1064 ± 1

    工作模式 :  聲光 Q 開關

    平均功率(瓦) :  35W @ 50kHz

    平均功率(瓦) :  單脈沖能量 (mJ) * 重復頻率 (kHz)

    單脈沖能量(微焦耳) >700 uJ @ 50kHz

    重復頻率 (kHz) 50~100

    脈沖寬度 (ns) ~11 @ 50 kHz

    橫向模式 TEM00

    光束圓度 (%) >85

    M2 因子 <1.3

    預熱時間(分鐘) <10

    光束發(fā)散,全角(mrad) <2

    孔徑處的光束直徑(1/e2,毫米) ~3

    從底板算起的光束高度(毫米) 91

    冷卻方式 水冷

    工作溫度:10 ~ 35 (oC)

    電源電壓:100 - 240 VAC 或 24 VDC

    尺寸:640 * 260 * 124 毫米

    冷水機:有


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