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詳細介紹
日本ulvac膜片干式排氣的真空泵DAL-181
概要
通過橡膠薄膜(膜片)的往復運動而排氣的真空泵。 結構簡單,易于操作。 DA系列是標準型。
特點及使用時的注意事項
- 膜片泵通過橡膠膜片的往復運動來形成真空。泵體結構采用無油環境設計,因此維護簡單。根據您對壓力和腔體的要求可以選擇各種不同的泵速和雙段/單段設計。
規格參數
| 項目 | 單位 | 50Hz | 60Hz |
|---|---|---|---|
| 實際抽速 | L/min | 180 | 210 |
| 極限壓力 | Pa | 3.3×103 | |
| kPa | -98 #1 | ||
| 電機 | W | 500 | |
| 重量 | kg | 37 | |
| 進出氣管道直徑 | mm | O.D.φ21×I.D.φ15 (G 1/2) | |
| 環境溫度 | ℃ | 7～40 | |
| 尺寸 | mm | 388(W) × 523.6(L) × 274(H) | |
| RoHS對應 | ● | ||
#1: 表壓
日本ulvac膜片干式排氣的真空泵DAL-181
電源電壓
| 電壓 | 認證 | 備注 |
|---|---|---|
| 三相, 200V | ― |
■TUV認證是由執行產品安全測試及認證的第三方組織審查，符合歐洲規格的高品質產品。
特別說明
- 如果泵在負載運行期間停止,然后再立即重新啟動,則可能無法重新啟動。 在這種情況下,需使泵內部恢復到大氣壓狀態。
- 請勿吸入腐蝕性氣體,有機溶劑,液體或可凝性氣體(例如水蒸氣)。 另外,請確保異物,灰塵等不進入泵內
- 如果泵在接近大氣壓的條件下長時間運行,泵可能會在短時間內發生故障。
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