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超痕量水分儀在半導體制造前端工藝上的運用
閱讀：652 發布時間：2024-1-19超痕量水分儀在半導體制造前端工藝上的運用
超微量水分計“FalconTrace"采用球型SAW傳感器，可定量測量工業氣體和天然氣中所含的微量水分子。
響應速度極快，可以實時監測水分含量的變化，還可以測量水分含量和背景氣體成分分析兩項。可以精確測量氣體中的水分濃度，低至 1 ppb（十億分之一）水平。
球聲表面波傳感器的測量原理
① 叉指換能器（IDT）產生表面聲波
② 表面聲波在球的赤道上循環，對所涂
敏感膜的微小變化做出反應 通過異形電極進行檢測
④ 通過積分微小變化實現高靈敏度傳感通過多次輪換。
介紹示例/應用
半導體制造設備制造商
（主要是前端工藝）蓄電池制造商及其
材料制造商的制造流程工業氣體制造商
產品陣容
響應速度極快，可以在幾秒鐘內監控水分含量的變化，這對于穩定半導體和二次電池制造過程中的產品產量和質量非常有用。
無需重新配置每種背景氣體，當天然氣等成分出現波動時，可以同時檢測。另一個主要優點是傳感器材料是水晶球，使其耐腐蝕、重量輕且易于攜帶。
FT-700WT
該系列中的頂級型號，實現“超"微量水分測量
測量范圍廣泛的露點，從-110℃到-20℃
除了露點測量之外，還以%水平檢測背景氣體*的成分（相當于平均分子量）
*背景氣體：水分含量測量的目標氣體該裝置涵蓋從天然氣到高純度氣體的所有氣體。
應用實例
工業氣體制造過程和運輸過程中的質量控制、半導體制造材料氣體的純度控制
FT-400WT
中檔型號，可實現中檔實時測量。
1秒內測量從-90℃起的露點變化，非常適合測量實時控制系統
也可以更改為設備內置型*
*請聯系我們。
應用實例
一般生產線的質量控制、電池制造過程中的水分含量監測
FT-300WT
小型通用機型，在保持高速響應的同時強調便攜性。
1秒內測量從-70℃起的露點變化，同時支持實時測量系統
輕而小，僅重2公斤，方便攜帶至目標區域
由于電池供電，可在沒有市電的地方使用
應用實例
干燥箱、空間水分分布、一般氣體