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薄膜厚度測(cè)試的方法有哪些？
閱讀：8034 發(fā)布時(shí)間：2020-7-7
薄膜厚度測(cè)試的方法有哪些？
薄膜厚度測(cè)試可以分為在線測(cè)厚設(shè)備和非在線測(cè)厚設(shè)備兩大類。這兩類測(cè)厚設(shè)備如果能夠配合使用是較理想的，這一方面是由于在線測(cè)厚設(shè)備往往采用的非接觸式測(cè)量方式，用于軟包材的厚度檢測(cè)時(shí)無法避免由于材料具有壓縮性或是表面平整性不好而引起的數(shù)據(jù)波動(dòng)較大的情況。
而非在線測(cè)厚設(shè)備可以提供接觸式測(cè)量方法，有效彌補(bǔ)了在線測(cè)厚的這一不足。另一方面在線測(cè)厚雖然能有效控制一批薄膜的厚度均勻性，但卻不適用于對(duì)成品薄膜的抽樣檢測(cè)，因此必須配備非在線測(cè)厚設(shè)備。
薄膜厚度測(cè)試的方法有以下這些：
隨著科技的進(jìn)步和精密儀器的應(yīng)用，薄膜厚度的測(cè)量方法有很多，按照測(cè)量的方式分可以分為兩類：直接測(cè)量和間接測(cè)量。直接測(cè)量指應(yīng)用測(cè)量?jī)x器，通過接觸（或光接觸）直接感應(yīng)出薄膜的厚度。
1、常見的直接法測(cè)量有：螺旋測(cè)微法、精密輪廓掃描法（臺(tái)階法）、掃描電子顯微法（SEM）；間接測(cè)量指根據(jù)一定對(duì)應(yīng)的物理關(guān)系，將相關(guān)的物理量經(jīng)過計(jì)算轉(zhuǎn)化為薄膜的厚度，從而達(dá)到測(cè)量薄膜厚度的目的。
2、常見的間接法測(cè)量有：稱量法、電容法、電阻法、等厚干涉法、變角干涉法、橢圓偏振法。按照測(cè)量的原理可分為三類：稱量法、電學(xué)法、光學(xué)法。
3、常見的稱量法有：天平法、石英法、原子數(shù)測(cè)定法；常見的電學(xué)法有：電阻法、電容法、渦流法；
4、常見的光學(xué)方法有：等厚干涉法、變角干涉法、光吸收法、橢圓偏振法。
好了，以上便是對(duì)薄膜厚度測(cè)試的相關(guān)內(nèi)容介紹了。