臭氧氣體發生器是氧氣通過介質阻擋放電產生臭氧的必要設備，由臭氧電源、臭氧發生室、冷卻器、儀器等組成。臭氧源是為臭氧的物理合成提供高壓和能量的電氣設備，主要包括整流器、逆變器、升壓單元和電源控制系統；臭氧發生室是臭氧發生單元的一種裝置，由單個或多個臭氧發生單元組成，即高壓電暈放電將氧氣轉化為臭氧的場所。

飲用水處理用臭氧發生器是臭氧系統中的核心設備，它與氣源設備、接觸反應設備、尾氣處理設備、測控儀表等組成一個完整的臭氧系統。