臭氧為混合氣體其濃度通常按質量比和體積比來表示。質量比是指單位體積內混合氣體中含有多少質量的臭氧，常用單位mg/L、mg/m3或g/m3等表示。體積比是指單位體積內臭氧所占的體積含量或百分比含量，使用百分比表示如2%、5%、12%等。衛(wèi)生行業(yè)常用ppm表示臭氧濃度，即每立方臭氧混合氣體中臭氧占該體積的百萬分之一為1ppm。臭氧濃度是衡量臭氧發(fā)生器技術含量和性能的重要指標。同等的工況條件下臭氧輸出濃度越高其品質度就越高。

影響臭氧濃度的主要因素有：

1、臭氧發(fā)生器的結構和加工精度；

2、冷卻方式和條件；

3、驅動電壓和驅動頻率；

4、介電體材料；

5、原料氣體中氧的含量及潔凈和干燥度。

6、發(fā)生器電源系統(tǒng)的效率（效率高，熱量轉化少）。