1、按每小時產生臭氧量， 臭氧發生器分為小型（5g/h～100g/h） 、 中型（>100g/h～1000g/h）和大型（>1kg/h）。

2、按臭氧發生單元的結構形式，臭氧發生器分為管式和板式。目前，工業應用普遍采用管式臭氧發生器。

3、按介質阻擋放電的頻率， 臭氧發生器分為工頻（50Hz、 60Hz） 、 中頻（100Hz～1000Hz）和高頻（>1000Hz）。工頻臭氧發生器放電所需的電壓高，臭氧出氣濃度低，體積大，效率低，目前處于逐步淘汰的階段。

4、按供氣氣源，臭氧發生器分為空氣型和氧氣型。空氣型以干燥潔凈的壓縮空氣為原料；氧氣型以工業氧氣或現場制氧為原料。

5、按冷卻方式，臭氧發生器分為水冷卻和空氣冷卻，用于水處理、煙氣處理等領域的大型臭氧發生器多為水冷卻；用于空氣消毒、果蔬保鮮等領域的小型臭氧發生器多為空氣冷卻。