廢水深度處理工藝主要包括臭氧發生器氧化處理廢水、活性炭吸附、膜分離等。由于臭氧具有強氧化、強滅菌消毒的特點，除臭功能難以替代，因此在許多情況下需要利用臭氧技術對廢水進行深度處理，以達到更好的處理效果。在廢水的深度處理中，臭氧可以用來去除化學需氧量和生化需氧量，破壞有害化學物質。臭氧及其產生的活性OH自由基破壞廢水中發色團的不飽和鍵，生成小分子酸和醛，以及低分子量有機物，大大降低水體的色度，氧化廢水中的金屬離子沉淀不溶物，有利于絮凝，提高沉淀效果，有效控制有機微生物，使循環水中COD和AO。