臭氧發生器技術處理設備是氧氣通過介質阻擋放電產生臭氧的必要設備，由臭氧電源、臭氧發生室、冷卻器、儀器等組成。臭氧源是為臭氧的物理合成提供高壓和能量的電氣設備，主要包括整流器、逆變器、升壓單元和電源控制系統；臭氧發生室是臭氧發生單元的一種裝置，由單個或多個臭氧發生單元組成，即高壓電暈放電將氧氣轉化為臭氧的場所。由于臭氧具有強氧化、強滅菌消毒的特點，除臭功能難以替代，因此在許多情況下需要利用臭氧技術對廢水進行深度處理，以達到更好的處理效果。