型號(hào)

T81-50探針臺(tái)

T80-50探針臺(tái)

制冷方式

液氦/液氮制冷

閉循環(huán)制冷機(jī)

腔體材質(zhì)

無磁不銹鋼或者鋁合金

真空度

高真空10-8Pa

真空腔觀察窗尺寸

2inch（可選）

控溫范圍

4.2K-450K

5K-450K

控溫分辨率

0.001K控溫儀相關(guān)

溫度穩(wěn)定性

0.1K控溫儀相關(guān)

降溫時(shí)間

40min

150min內(nèi)，視制冷機(jī)功率定

溫度傳感器

硅二極管、PT100（3個(gè)，樣品臺(tái)和探針臂和防輻射屏上各一個(gè)）

加熱電源

LVDC 低壓直流

樣品臺(tái)材質(zhì)

鍍金無氧銅

樣品臺(tái)尺寸

直徑20-50mm，可選100mm

樣品臺(tái)平整度

≤7μm

樣品臺(tái)固定方式

固定的樣品臺(tái)（可升級(jí)隨位移臺(tái)移動(dòng)）

樣品臺(tái)振動(dòng)級(jí)別

≤50納米

≤1μm（三級(jí)減震）

探針臂數(shù)量

2個(gè)、4個(gè)、6個(gè)、8個(gè)可選

探針臂機(jī)械精度

±12.5mm(可升級(jí)±25mm),精度1μm（可選）

探針種類

鎢、鈹銅、微波探針（可選高達(dá)67GHz的GSG探針）

探針調(diào)節(jié)

真空波紋管外部調(diào)節(jié)，手動(dòng)控制

放大倍數(shù)

16~100X/20~4000X

顯微鏡行程

X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z軸行程≥50.8mm

電力需求

220V 50-60Hz