首頁(yè) >> 公司動(dòng)態(tài) >> 半導(dǎo)體晶圓自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)已安裝就位，歡迎免費(fèi)測(cè)試！
圖：INVENIO FTIR-MAPPIR II
布魯克（北京）科技有限公司上海客戶(hù)體驗(yàn)中心，新近安裝了傅立葉變換紅外半導(dǎo)體晶圓自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)。
客戶(hù)體驗(yàn)中心這套系統(tǒng)附件多樣、擴(kuò)展口豐富、功能齊備，可以實(shí)現(xiàn)：
直徑4寸6寸8寸的晶圓鏡面反射和透射自動(dòng)多點(diǎn)測(cè)量
根據(jù)ASTM/SEMI MF1391標(biāo)準(zhǔn)，進(jìn)行室溫下硅晶圓中代位碳原子含量分析
根據(jù)ASTM/SEMI MF1188標(biāo)準(zhǔn)，進(jìn)行室溫下硅晶圓中間隙氧含量分析
同質(zhì)、異質(zhì)外延層厚度分析，專(zhuān)業(yè)的擬合分析軟件，可用于亞微米量級(jí)至毫米量級(jí)單層、多層外延層厚度分析
磷硅玻璃(PSG)和硼磷硅玻璃(BPSG)中硼和磷含量定量分析
SiN等離子層和Si-O基鈍化層等膜層分析
SiC同質(zhì)外延厚度
單晶Si中代位碳，間隙氧含量
Si-SiO2-Si外延厚度
誠(chéng)摯歡迎各位老師的蒞臨、參觀、試用、體驗(yàn)與指導(dǎo)！
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