微量氧分析儀采用*密封的燃料池氧傳感器是當前先進的測氧方法之一，由高活性的氧電極和鉛電極構成，浸沒在KOH溶液中。微量氧的分析方法主要有比色法、化學電池法、黃磷發光法、濃差電池法和氣相色譜法。其中比色法是較早采用的分析方法，它是國家標準規定的方法，利用銅氨溶液進行比色分析，由于操作復雜，準確度難以保證，并且不能實現自動在線分析，現在已很少采用，不過它還是一種仲裁方法。黃磷發光法是利用氧氣與黃磷氧化燃燒進行分析，具有分析速度快，可以連續分析的特點，但該方法采用的黃磷是危險化學品，生成的產物具有腐蝕性，并且檢測限低，所以現在已很少采用。
已知微量氧分析儀與磁力機械式氧分析儀存在背景氣體的干擾問題。若背景氣體中含有較大量的NO氣體和NO2氣體等磁化率較高的氣體時，不適合選用這兩種儀表。應用氧化鋯分析儀時，若被測氣體中含有H2、CO等還原性氣體時，會發生還原反應消耗氧氣，影響儀表測量值較實際偏低。這些干擾在常量氧檢測時有時不太明顯，但在檢測微量氧含量時，必須注意這些問題。
如制氮裝置的高純氮產品中的氧含量要求多不超過1×10-5，用氧化鋯氧分儀檢測，必須考慮除去氮氣中的H2、CO等還原性氣體。如空分裝置曾有一臺氧化鋯分析儀，檢測氮氣中的氧含量，工藝過程中氧含量一般大約在4×10-6，儀表經校驗投用之后檢測結果總是負值，后來在樣品氣進表之前加裝了一只還原性氣體濾除器，問題則得以解決。
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