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Heidenhain海德漢圓光柵ROD250資料參數(shù)
閱讀：737 發(fā)布時間：2021-10-20Heidenhain海德漢圓光柵ROD250資料參數(shù)
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光電編碼器的測量精度受軸系精度、圓光柵精度、電子學細分精度等多種因素影響,而圓光柵盤的偏心作為重要的系統(tǒng)誤差,直接影響了光電編碼器的測角精度。隨著光柵線密度的增大,衍射現(xiàn)象變得明顯,此時傳統(tǒng)的莫爾條紋檢測方法已無法提取出高質(zhì)量的信號,顯微鏡檢測的精度無法滿足實際要求。本文利用衍射光干涉原理,提取高密度圓光柵位移信息,用于測量高密度圓光柵的偏心量。該方法使用對徑放置的兩個光電讀數(shù)頭采集干涉條紋信號,通過對比兩路信號的相位差最終解算得到圓光柵盤偏心量,并搭建了試驗平臺進行了驗證。試驗結(jié)果表明,對刻劃中徑34 mm,一周刻線45 000 lp的高密度圓光柵進行偏心量的測量,比傳統(tǒng)方法使用顯微鏡的測量瞄準精度提高數(shù)十倍甚至上百倍。
Heidenhain海德漢圓光柵ROD250資料參數(shù)杭州卓德優(yōu)勢供應現(xiàn)貨
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Heidenhain海德漢圓光柵ROD250資料參數(shù)高精度計量圓光柵,是近代光電測角儀器和測角技術的重要基礎元件.以計量圓光柵為核心部件組成的光電傳感器,可將輸入的機械量轉(zhuǎn)換成相應的數(shù)字量,與數(shù)顯裝置或計算機連接構成測量,控制系統(tǒng),易于實現(xiàn)機器及儀器的自動測量,數(shù)字測量與數(shù)字控制,其應用正向著更加廣泛的領域滲透. 論文首先簡述了計量圓光柵技術的發(fā)展歷史,在此基礎上對計量圓光柵技術在角度數(shù)字測量,運動比較測量,傳動軸的扭轉(zhuǎn)角測量等方面的應用,計量圓光柵的制造,檢測及精度評定和測量系統(tǒng)所涉及的關鍵技術以及計量圓光柵的發(fā)展動向作了綜述性的分析與評論,從而引出了論文的主要研究內(nèi)容,即計量圓光柵的原理,制造及檢測技術研究. 論文對光柵莫爾條紋形成的幾何原理進行了簡要介紹;對計量圓光柵莫爾條紋方程,莫爾光場和幾種典型的圓光柵莫爾條紋進行了概述;對計量圓光柵及測量系統(tǒng)的關鍵問題進行了分析,比較與討論,對計量圓光柵及測量系統(tǒng)的判向信號及判向電路設計進行了討論;對圓光柵測量系統(tǒng)莫爾信號的光電轉(zhuǎn)換以及光電轉(zhuǎn)換過程中的溫度漂移誤差和誤差補償問題進行了分析與研究,在分析現(xiàn)有光電轉(zhuǎn)換電路不足的同時,提出了一種結(jié)構簡單,精度高,能有效進行溫度漂移補償?shù)墓怆娹D(zhuǎn)換電路,并結(jié)合實際應用的需要,給出了應用實驗的結(jié)果. 論文的一項重要工作是對計量圓光柵的光刻技術進行了分析討論
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