等離子體診斷是根據對等離子體物理過程的了解，采用相應的方法和技術來測量等離子體參量的科學技術。等離子體物理現象要用多個參量才能描述，就像醫生對病人的病情要作多方面的診斷后方可確診一樣。因此，借用醫學中的“診斷”一詞，將等離子體參量的測量稱為等離子體診斷。
等離子體診斷是用實驗方法測定等離子體參量的技術。診斷的方法有探針法、微波法、激光法、光譜法、光學法和粒子束法，其中粒子束法的應用不如前五種普遍。診斷的參量包括微觀參量（如碰撞頻率）和宏觀參量（如密度、溫度、壓力等熱力學參量，以及粘性、擴散、熱導率和電導率等輸運系數）。
一般表征部分電離等離子體特性的參量主要是電子密度、電子溫度和碰撞頻率。電子密度和電子溫度的范圍不同，所用的測量方法也不同。
加拿大AFP的多模式等離子體檢測器優勢：檢測器利用創造出弱等離子，并使其保持在非平衡狀態下。等離子體的電能大部分轉化到自由電子上，而氣體的溫度仍然保持在接近于室溫。可以采用氬氣、氦氣作為載氣。根據需要測量的雜質和采用的模式，也可采用其它氣體作為載氣。 載氣切換起來非常方便和快捷。
