善準(zhǔn)分子泵機(jī)組MPU-90i是由渦輪分子泵+前級(jí)泵+真空規(guī)組成的創(chuàng)新型產(chǎn)品，適用于掃描/透射電子顯微鏡（SEM/TEM）、質(zhì)譜儀、低溫真空探針臺(tái)、真空鍍膜機(jī)、原子層/激光沉積設(shè)備（ALD/PLD）、真空退火爐、氦質(zhì)譜檢漏儀、超高真空密封石英管等領(lǐng)域，為用戶提供超高真空一站式解決方案。

1.超高真空：極限真空度可達(dá)到10^-6Pa，真空度觸摸屏數(shù)字顯示

2.操作簡(jiǎn)易：提供中英文操作界面，觸摸屏一鍵啟動(dòng)分子泵和前級(jí)泵

3.智能化控制程序：采用“IL智能化控制程序"，防止誤操作損壞分子泵，控制軟件，操作簡(jiǎn)易，安全可靠

4.一機(jī)兩用：前級(jí)泵可獨(dú)立使用，滿足粗真空下的使用場(chǎng)景；也可以前級(jí)泵+分子泵聯(lián)動(dòng)使用，獲得超高真空環(huán)境，一機(jī)兩用，性價(jià)比高

5.安裝簡(jiǎn)單：分子泵機(jī)組出廠前已完成分子泵、前級(jí)泵、觸摸屏安裝，且完成氣密性檢測(cè)

6.全量程真空規(guī)：真空測(cè)量范圍1x10⁵-1x10^-6Pa,垂直安裝確保測(cè)量準(zhǔn)確