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Edwards愛德華IXL系列半導體干式真空泵維修保養
Edwards愛德華高級干式半導體真空泵已經過現場應用證明，可以按照工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率，同時減小占地面積、降低運行成本，實現了高的可靠性和性能。
產品簡介
詳細介紹
Edwards愛德華高級干式半導體真空泵已經過現場應用證明，可以按照工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率，同時減小占地面積、降低運行成本，實現了高的可靠性和性能。
iXL系列半導體真空泵是緊湊型低能量的 110 m3/h 干泵，用于水處理和其他清潔工作應用。它可快速抽空負載鎖定艙室，能耗極低。
iXL120 是可用于負載鎖定和清潔應用的小且輕的泵之一。其低振動和低噪音級別的優點使其適合于安裝在機臺上或工廠的夾心層中，從而有助于節省寶貴的工廠地面空間。通過環保模式可在空閑期間降低設備使用率，從而降低操作成本并幫助保護環境！
愛德華IXL系列半導體干式真空泵維修保養
Edwards愛德華 iXL系列半導體干式真空泵產品型號：iXL120,iXL120N,iXL1000,IPUP2,iXL250Q,iXL500Q,iXL500R,iXL750Q
技術參數：
edwards iXL120 是緊湊型低能量的 110 m3h-1 干泵，用于水處理和其他清潔工作應用。 它可快速抽空負載鎖定艙室，能耗極低。edwards iXL120 是可用于負載鎖定和清潔應用的小且輕的泵之一。 其低振動和低噪音級別的優點使其適合于安裝在機臺上或工廠的夾心層中，從而有助于節省寶貴的工廠地面空間。通過環保模式可在空閑期間降低設備使用率，從而降低操作成本并幫助保護環境！
IXL系列干式真空泵產品應用：
·半導體工業用真空泵和系統
·科研儀器、真空加工用途真空泵和系統
·泄漏檢測、真空儀器、真空元件用于全部工業領域
·排氣控制、溫度控制、污水處理系統、氣體處理系統、化學品和生料控制及元件清洗服務用于半導體行業
Edwards iXL1000干泵特點:
•yi流的艙室 抽空時間可減少總體平均循環時間 (TACT)
•僅僅 0.55kW 的功 耗有助于da程度減少客戶擁有成本
•環保模式可以在 空閑期間多減少 92% 的功耗
•gao 35oC 的水供給有助于 降低設備冷卻水要求
•極小且極 輕，有助于節省寶貴的工廠空間
干式真空泵即無油干式機械真空泵簡稱干泵，主要分為干式螺桿真空泵和渦旋式干兩種。
適用于嚴苛應用的大型 iXL干泵
Edwards iXL1000：緊湊型低能量的干 泵，適用于輕負載應用。它提供快速艙室抽空和 極低的功耗。可用于輕負載應用（如晶圓加工、PVD 和 計量）的小且安靜的泵之一。此產品 在高度成功的 iXL120 泵的基礎上構建，具有高抽取速度和低能耗特性。通過環保模式可在空閑期間降低設備 使用率，從而降低成本并幫助保護環境。
愛德華IXL系列半導體干式真空泵維修保養