您好, 歡迎來到化工儀器網
真空工藝的應用對環境有什么要求
真空工藝的應用環境是建立低于大氣壓力的物理環境，真空工藝的使用領域眾多，不同真空工藝對環境的要求也不相同，
在真空工藝應用中，真空設備需要滿足真空工藝各類參數需求。為了更好的實現這一需求，不僅對真空設備性能有要求，同時也需要環境能夠給設備提供良好的運作條件，保證設備穩定運行，好環境才有好性能。
本文根據多年在真空行業服務的經驗，為您分析真空工藝對環境的相關要求。
常規真空工藝對環境的要求
所謂常規真空工藝系指沒有特殊要求的真空工藝過程，這類真空裝置（設備）對真空衛生的要求：
（1）凡是處于真空中的真空設備零件，都要求無積存的污染源，表面無塵埃，無鐵屑、無銹蝕；
（2 ）真空設備的真空室表面要光滑、無松軟組織和氣孔、無內焊縫等影響真空的缺陷；
（3 ）高真空設備中，真空室內的運動部件不得用機油作潤滑劑，要用飽和蒸氣壓低的擴散泵油、硅油作潤滑劑；法蘭、觀察窗的密封部件要涂以高真空油脂；
（4）真空設備一般應在溫度為15～30℃，相對濕度不高于70%的清潔空氣流通的環境中工作，冷卻水進水溫度不高于25 ℃。
電真空工藝對環境的要求
電真空結構材料除具有良好的機械性能和加工性能外，還要滿足其他性能的要求，即容易除氣、低的飽和蒸氣壓、一定的化學穩定性、一定的純度和清潔度、合適的輻射能力等。所以電真空工藝具有特殊性，對清潔處理要求是極為嚴格的，應大限度清除或減少零件的污染。
真空鍍膜工藝對環境的要求
真空鍍膜工藝襯底（基片）表面的清潔處理很重要，基片進入鍍膜室前均應進行認真的鍍前清潔處理，達到工件去油、去污和脫水的目的?；砻嫖廴緛碜粤慵诩庸?、傳輸、包裝過程所粘附的各種粉塵、拋光膏、油脂、汗漬等物；零件表面在潮濕空氣中生成的氧化膜；零件表面吸收和吸附的氣體。這些污物基本上均可采用去油或化學清洗方法將其去掉。
無油超高真空系統要避免油蒸氣影響工作介質的純度、表面特性或工作性能，為具體的工藝過程提供清潔的超高真空環境。
超高真空金屬系統常用1Cr18Ni9Ti為結構材料；有些部位可能使用無氧銅、可伐合金、純金、純銀、鎢、鉭、鉬、鈦等。絕緣材料常用玻璃和95真空瓷；而高分子聚合物由于可能分解出碳氫化合物污染系統，不能使用；飽和蒸氣壓較高的材料，如鋅及其合金也不能使用。
超高真空系統中材料的出氣是限制真空度提高的重要因素。一方面可采用清洗、拋光、把零件部件放在真空柜中保存或真空預熱除氣等方法降低出氣速率，以改善材料的原始處理情況。另一方面還可以采用真空系統高溫烘烤除氣，加速材料出氣，使材料表面吸附和吸收的氣體分子加速放出并被排出，冷卻后材料的出氣速率會降低幾個數量級。因此，對于一般需要達到10-7Pa以下壓力的真空系統，都必須要烘烤除氣。