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維修愛德華EH4200羅茨泵氣量不足
Edwards EH4200機械增壓泵采用*的液力驅動，可實現高效的動力傳送，在經濟性、性能和緊湊性方面擁有優勢。
EDWARDS愛德華羅茨真空機械增壓泵EH4200系列應用：
這些增壓泵適用于高壓力差的場合，這種高壓力差使增壓泵可以與前級泵同時啟動，從而減少總體抽氣時間。
半導體制程、真空蒸餾、真空包裝、鋼脫氣、薄膜覆層、真空冶金、低密度風洞、空間模擬、真空浸漬、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥、CO2 激光
EDWARDS EH4200愛德華羅茨真空機械增壓泵EH系列功能和優勢:
1、適用于在0.01至50 mbar/0.0075至37.5 Torr 的壓力范圍下，需要超過 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的應用場合。
2、 可在相對較低的壓力環境下表現出更高的可靠性。
3、 EH 泵具有高質量的無油泵送機械裝置。這可提供：安靜的無振動運行；牢靠且防腐蝕。
4、 *的軸封技術，處理艙中不會出現油污染
5、防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。
6、 經驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護要求降到低。
7、軸封的設計經過優化，可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要gao標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴格的轉子葉和端面上堆積吸入的微粒。
8、動態平衡的轉子和精密研磨齒輪有助于實現泵的平穩、運行噪音小，而這些特點正是*技術設備的制造商所需要的。
愛德華EH4200羅茨泵的抽氣量不夠，這種故障的出現，使泵未充分發揮它的效能，滿足不了工藝需求。
產生這種故障的原因可能是：泵的轉速不夠；密封不嚴，在進氣管路的連接處或軸封處漏氣；泵的轉子與轉子、轉子外圈與泵殼、轉子端面與端蓋周的間隙過大，氣體返流量增大；環境溫度或冷卻水的溫度過高。處理方法有下列幾種：
1、若泵的轉速不夠，而抽氣量是與泵的轉速成正比，則泵的抽氣量就會下降。這有兩種情況：一種情況是泵的轉速未配備好，也就是皮帶輪的直徑不合適（即速比不合適），可更換皮帶輪，改變皮帶輪的直徑，另一種情況可能是皮帶安裝不當，未張緊，皮帶打滑而降低了轉速，這可調節電機位置，使皮帶張到一定緊度。
2、查明何處漏氣，針對具體情況進行處理。若連接法蘭處漏氣，則可能是由于連接螺釘松動，墊圈壓破變質或者是法蘭面加工不平。若在軸封處漏氣，則有可能是密封皮碗未裝正或劈裂，此時則更換皮碗并裝正。若是填料密封的，可將扎進的填料掏出。更換新的。但填料的接口必須是斜面而互相搭接服帖。第1圈的接口必須與第二圈的接口錯開，不能在同一位置上。
3、若轉子與轉子型面間的間隙不均勻，在轉一圈中一處間隙大，另一處間隙小，則是由于在裝配時，同步齒輪的嚙合狀況未調整好。該對同步齒輪之所以做成另一個齒輪的輪轂固定，另一個齒輪的輪轂做成可以調節的，就是因為兩轉子的外形是共軛曲面，要互相正常嚙合，否則就會轉不動，即使能轉動。也可能出現在轉動中，兩轉子間的間隙時大時小。在這種狀態下，可將可調齒輪連接輪轂的螺釘擰松并拔出定位銷釘，進行調節，使轉子的嚙合和齒輪的嚙合同時達到正常嚙合狀態，這時各處間隙就均勻了，重新擰緊螺釘，重鉸銷釘孔并裝上銷釘定位。若轉子外徑與泵殼的間隙某處過大（不會各處都大），則可擰松端蓋與泵殼的連接螺釘，撥出定位銷，進行調節，待各處間隙都均勻了，再擰緊螺釘，重鉸端蓋與泵殼的定位銷孔并裝上錐銷，若轉子端面與端蓋之間的間隙過大，則可能是由于泵殼與端蓋之間的密封墊子太厚，可去下該墊子重新換上薄墊子即可。
4、由實踐得知，環境溫度升高則抽氣量就會降低。針對這種情況，盡量將注入水溫降低。