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高精度氦撿漏設備

高精度氦撿漏設備用氦氣作為示蹤氣體，在真空箱內將氦氣充入工件，然后通過氦檢漏儀能高精度，迅速準確判斷工件的泄漏情況。基本操作：操作工將工件放在真空箱內，真空箱與工件自動密封，系統可自動完成大漏檢測、抽真空充氦、檢漏、回收整個過程，生產節拍快，檢漏精度高。精度可達5*10-12mbr.L/S

 基本參數：

1. 檢漏精度：5.0E-11Pa.m3/sec
2. 檢測壓力：2bar
3. 生產節拍：2分鐘/件
4. 可根據客戶要求非標定制

工作流程：

A1：安裝工件-----關真空箱門-----真空箱抽真空，同時工件內充高壓氦氣-----大漏及強度檢測；

B1：若A1檢測不通過，則系統報警，大漏工件序號顯示-----檢測程序中止；

B2：若A1檢測通過，放掉氦氣------對工件抽真空------真空箱內的氦氣本底抑零-----工件內充入氦氣-------真空模式，微漏檢測；

C1：若B2檢測不通過，則系統報警-----循環檢，小漏工件序號顯示------檢測程序中止；

C2：若B2檢測通過，真空箱內充入大氣，同時工件內氦氣回收-------真空箱開門，檢測完成。