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RTS-8四探針電阻率測試儀器是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的，專用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）的專用儀器。
儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數據既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數據到計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統計分析顯示測試結果。

RTS-8四探針電阻率測試儀器

電阻率：10^-5～10⁵ Ω.cm(可擴展)；  
方塊電阻：10^-4～10⁶ Ω/□(可擴展)；
電導率：10^-5～10⁵  s/cm；

電阻：10^-5～10⁵  Ω；

可測晶片直徑

140mmX150mm(配S-2A型測試臺)；
200mmX200mm(配S-2B型測試臺)；

400mmX500mm(配S-2C型測試臺)；

恒流源電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續可調

數字電壓表

量程及表示形式：000.00～199.99mV；    
分辨力：10μV；
輸入阻抗：>1000MΩ；
精度：±0.1% ；

顯示：四位半紅色發光管數字顯示；極性、超量程自動顯示；

四探針探頭基本指標針：

間絕緣電阻：≥1000MΩ；

機械游移率：≤0.3%；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓(總力)；

四探針探頭應用參數 (見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進行)  0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字

整機測量大相對誤差(用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5%

整機測量標準不確定度≤5%

測試模式：可連接電腦測試也可不連接電腦測試

軟件功能（選配）軟件可記錄、保存、打印每一點的測試數據，并統計分析測試數據大值、小值、平均值、大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數據生成直方圖，也可把測試數據輸出到Excel中，對數據進行各種數據分析。軟件還可選擇自動測量功能，根據樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。

計算機通訊接口：并口，高速并行采集數據，連接電腦使用時采集數據到電腦的時間只需要1.5  秒（在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時）。

標準使用環境溫度：23±2℃；
相對濕度：≤65%；
無高頻干擾；
無強光直射；