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不受樣品氣體壓力的影響，經過預處理減壓除水除塵等手段，進行測量，精度比氧化鋯高。
價格也貴，平時預處理的維護占主要工作，還需要有一些備件支持。
在加熱爐應用中，此類儀表也可以進行測量，應該范圍更加廣泛些。
電化學法是一種基于氧氣在電極上發生氧化還原反應的原理來測量氧氣濃度的方法。氧濃度分析儀中的電化學傳感器通常包括一個參比電極和一個工作電極。在工作電極上，氧氣發生還原反應，產生電流。該電流的大小與氧氣濃度成正比，因此可以通過測量電流的大小來推算出氧氣濃度。
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