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長流儀器VaporCold產品手冊

閱讀:153        發布時間:2022-04-26
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    北京長流科學儀器有限公司

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在使用油擴散泵或分子泵的高真空環境中,都存在著一定的殘余氣體,80%以上是水蒸汽、油蒸氣及其它高沸點的氣體,但機械泵抽除殘余氣體的能力低、時間長。而且殘余氣體還是工件的污染源,影響產品的產量和質量。

水蒸氣、油蒸氣是真空鍍膜領域及高真空獲得領域的主要危害氣體。

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